电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 GBT 29658-2013.pdf
蜗牛文库
-高品质阅读，高比例分成-
温馨提示：
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
GBT
29658-2013
电子
薄膜
高纯
铝合金
溅射
29658
2013
GB/T29658-2013表1（续）成分AlAISiAlCuAlSiCuAg10.310.310.310.3As10.510.510.50.5Au10.510.50.510.5B0.50.50.50.50.50.50.50.5Ba10.510.510.510.5Bi111111Be0.50.50.50.50.50.50.50.5Ca10.210.210.210.2Cd1.01.01.01.0Ce111111CI44444444Co0.10.1一0.10.1Cr520.4220.420.420.4Cs一10.510.510.50.5Cu5031531Fe50353311金属杂质0.50.10.50.10.50.10.50.1含量不大La0.50.50.50.5于106Li0.50.10.50.10.50.10.50.1Mg30221Mn1010.5110.510.50.5Mo10.20.210.20.2Na0.50.10.50.10.50.10.50.1Ni2011111111Pb0.30.310.30.3Sb10.50.510.50.5今30心252Sn0.20.210.20.2心32210.40.40.40.4Zn50.50.50.50.50.50.50.50.50.020.0010.020.0010.020.0010.020.001Th0.020.0010.020.0010.020.0010.020.001
