电子工业用气体 六氟乙烷 GBT 34091-2017.pdf
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电子工业用气体
六氟乙烷
GBT
34091-2017
电子工业
气体
乙烷
34091
2017
GB/T34091-2017前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位：浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、天津长芦华信化工股份有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司。本标准主要起草人：史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云。
