电子工业用气体六氟化钨 GBT 32386-2015.pdf
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电子工业用气体
六氟化钨
GBT
32386-2015
电子工业
气体
氟化
32386
2015
1CS71.100.20G86GB中华人民共和国国家标准GB/T32386一2015电子工业用气体六氟化钨Gases for electronic industry-Tungsten hexaflouride2015-12-31发布2016-07-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T32386-2015表1（续）项目名称指标(氧十氩)(O,十Ar)含量（体积分数）/10500.50.50.1二氧化碳(C()2)含量（体积分数）10-0.50.50.1氧化碳(C()含量（体积分数）/10-0.50.50.1六氟化硫(SF:)含量（体积分数）/10100.50.50.1四氟化硅(SiF,)含量（体积分数）/10100.50.50.1氟化氢(HF)含量（体积分数）/10“800510.3钼(Mo)含量/(g/L)一1001010铁(Fe)含量/(g/L)20105钾(K)含量/(g/1)555钠(Na)含量/(g/I,)55铬(Cr)含量/(g/l)10105钍(Th)含量/(g/L)一0.10.10.1铀(U)含量(g/1)0.050.050.05钴(Co)含量/(g/1,)10105锰(Mn)含量/(g/I)10105铅(Pb)含量/(g/L)10105锌(Zn)含量/(g/L)10105金属元素含量钙(Ca)含量/(g/L)55镁(Mg)含量/(g/L)10105镍(Ni)含量/(g/I.)202010铜(Cu)含量/(g/L)555铅(AI)含量/(g1)10105砷(As)含量/(g/1)10105硼(B)含量/(g/L)10105镉(Cd)含量/(g/L)22钛(Ti)含量/(g/L)10105锂(1i)含量/(g/L)10105硅(Si)含量/(g/L)10105磷(P)含量/(g/L)2224试验方法4.1抽样，判定和复验4.1.1同一生产线连续稳定生产的六氟化钨气体构成一批，每批产品的质量不超过500kg。2
