硅基MEMS制造技术版图设计基本规则 GBT 28274-2012.pdf
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硅基MEMS制造技术
版图设计基本规则
GBT
28274-2012
硅基
MEMS
制造
技术
版图
设计
基本
规则
28274
2012
ICS31.200L55GB中华人民共和国国家标准GB/T28274-2012硅基MEMS制造技术版图设计基本规则Silicon-based MEMS fabrication technology-The basic regulation of layout design2012-05-11发布2012-12-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
