微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 GBT 34898-2017.pdf
蜗牛文库
-高品质阅读，高比例分成-
温馨提示：
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
微机电系统MEMS技术
MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
GBT
34898-2017
微机
系统
MEMS
技术
谐振
敏感
元件
非线性
振动
测试
方法
34898
2017
GB/T34898-2017目次前言】范围2规范性引用文件3术语和定义4敏感元件非线性振动测试特性参数5测试方法及其选用原则25.1光学测试法25.2电学测试法426敏感元件非线性振动幅频响应和相频响应测试方法26】光学测试方法26.2电学测试方法37敏感元件非线性振动频率响应弯曲系数测试方法48敏感元件非线性跳跃振幅阈值测试方法59非线性振动引起的敏感元件频率偏移测试方法59】自激闭环系统、锁相闭环系统和锁幅闭环系统的频率偏移59.2间歌激励闭环系统的频率偏移5附录A(规范性附录)敏感元件非线性振动数学模型和弯曲系数6附录B(规范性附录)敏感元件频率响应非线性跳跃9附录C(规节性附录)非线性振动引起的敏感元件的频率偏移10
