基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 GBT 38614-2020.pdf
蜗牛文库
-高品质阅读，高比例分成-
温馨提示：
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
GBT
38614-2020
基于
柔性
铰链
机构
压电
陶瓷
驱动器
纳米
定位
扫描
平台
测量方法
38614
2020
GB/T38614-2020)将平台移动至行程反向极限位置，干涉仪测量读数清零；b)将平台移动至行程正向极限位置，记录干涉仪测量值：c)重复步骤a)和步骤b)不应少于3次。6.1.2计算轴向行程T,按式(1)计算：T=2x,n台式中：T,一平台第方次轴向行程测量值：n测量次数，n3。6.2准确度6.2.1测量步骤将干涉仪严格对准平台，按照以下步骤进行准确度测量：a)按图1所示，在全行程平均分布11个测量位置，分别为p,(i=1,2,11),其中p,为行程反向极限位置，p为行程正向极限位置；b)将平台移动至第1个测量位置p1,干涉仪测量读数清零：c)将平台从p开始依次定位到p:,s,p1,在每个位置稳定后记录该位置的干涉仪测量值，d)重复步骤b)和步骤c)不应少于5次。公图1单向测量位置行程示意图6.2.2计算第i个测量位置的准确度A,按式(2)计算：-P(i=1,2,11)(2）式中：P,一平台第i个测量位置的第方次测量值：P;平台第i个测量位置的目标值：n一测量次数，n5。取A=max(A,)为平台被测轴的准确度。6.3单向重复定位精度6.3.1测量步骤单向重复定位精度测量步骤同6.2.1，其中步骤d)的重复步骤b)和步骤c)不应少于10次。6.3.2计算单向重复定位精度计算过程如下：2
