基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 GBT 38614-2020.pdf

GB/T38614-2020)将平台移动至行程反向极限位置，干涉仪测量读数清零；b)将平台移动至行程正向极限位置，记录干涉仪测量值：c)重复步骤a)和步骤b)不应少于3次。6.1.2计算轴向行程T,按式(1)计算：T=2x,n台式中：T,一平台第方次轴向行程测量值：n测量次数，n3。6.2准确度6.2.1测量步骤将干涉仪严格对准平台，按照以下步骤进行准确度测量：a)按图1所示，在全行程平均分布11个测量位置，分别为p,(i=1,2,11),其中p,为行程反向极限位置，p为行程正向极限位置；b)将平台移动至第1个测量位置p1,干涉仪测量读数清零：c)将平台从p开始依次定位到p:,s,p1,在每个位置稳定后记录该位置的干涉仪测量值，d)重复步骤b)和步骤c)不应少于5次。公图1单向测量位置行程示意图6.2.2计算第i个测量位置的准确度A,按式(2)计算：-P(i=1,2,11)(2）式中：P,一平台第i个测量位置的第方次测量值：P;平台第i个测量位置的目标值：n一测量次数，n5。取A=max(A,)为平台被测轴的准确度。6.3单向重复定位精度6.3.1测量步骤单向重复定位精度测量步骤同6.2.1，其中步骤d)的重复步骤b)和步骤c)不应少于10次。6.3.2计算单向重复定位精度计算过程如下：2