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电子工业用气体氢 GBT 16942-2009.pdf
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电子工业用气体 GBT 16942-2009 电子工业 气体 16942 2009
GB/T16942-20094试验方法4.1抽样、判定和复验4.1.1瓶装,集装格装氢产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不合格。4.1.2对稳定生产的管道输送的氢由供需双方确定抽样频数。企业应确保管道输送的氢产品符合本标准技术要求。4.1.3氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定。4.2氢纯度氢纯度按式(1)计算:中=100一(中1十中十中十中,十十中)10-4(1)式中:重一氢纯度(体积分数),10:更,一氮含量(体积分数),10-6:中2氧含量(体积分数).10:一氧化碳含量(体积分数),10-5:,一二氧化碳含量(体积分数),10:中.一总烃含量(体积分数),106:更一水分含量(体积分数),106。4.3氮、一氧化碳、二氧化碳的测定4.3.1氮、一氧化碳、二氧化碳的测定见附录A。4.3.2允许采用其他等效的方法测定氢中氮、一氧化碳、二氧化碳含量。当测定结果有异议时,以4.3.1规定的方法为仲裁方法4.4氧含量的测定按GB/T6285规定的方法或其他等效的方法测定氢中的微量氧含量。当以上测定结果有异议时,以GB/T6285规定的方法为仲裁方法。4.5总烃(以甲烷计)含量的测定按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定电子工业用气体氢中的微量总烃含量。当以上测定结果有异议时,以GB/T8984规定的方法为仲裁方法。仪器检测限的体积分数:0.02106。4.6气体标准样品组分含量的体积分数为(15)10-6,平衡气为氢。4.7水分含量的测定4.7.1方法及原理采用光腔衰荡光谱法测定氢中水分含量。光腔衰荡光谱法通过测量时间而不是强度的变化来确定光学吸收。光腔衰荡光谱法水分仪的主要部件是激光源、一对高反射性镜面形成的光共振腔和光探测器。在光衰荡光谱法中,一小部分脉冲激光会进入光腔并且由高度反射性镜面反复多次反射,每次都有微小的光透过镜面而离开光腔。这部分光就构成了光衰荡信号。它的强度变化可以简单地用单指数衰减来描述,光的衰荡是由于光在共振腔中的损失决定的。如果光腔是空的,衰荡时间取决于镜子的反射率(假设散射和吸收与透射损失相比是微不足道的):dtempy-c(1-R)+*+(2)2

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