酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 GBT 24582-2009.pdf
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酸浸取
电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
GBT
24582-2009
电感
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杂质
24582
2009
ICS29.045H80GB中华人民共和国国家标准GB/T24582-2009酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline siliconby acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry2009-10-30发布2010-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
