电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南 YST 935-2013.pdf
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电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
YST
935-2013
电子
薄膜
高纯
金属
溅射
纯度
等级
杂质
含量
分析
报告
标准
指南
935
2013
YS/T935-2013前言本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准参照了ASTMF2113-01(2011电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量的分析及报告标准指南。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准起草单位：有研亿金新材料股份有限公司。本标准主要起草人：张涛、何金江、丁照崇、万小勇、徐建卫、廖赞、尚再艳、王欣平、熊晓东、吕保国。I
