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电子工业废气处理工程设计标准
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中国电子工程设计院有限公司本标准参编单位:世源科技工程有限公司信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司清华大学同济大学上海电子工程设计研究院有限公司上海华懋环保节能没备有限公司奥意建筑工程设计有限公司北京京东方光电科技有限公司深圳市华星光电技术有限公司三星工程建设(上海)有限公司北京康肯环保设备有限公司上海华力微电子有限公司住房城中国电子科技集团第五十五研究所应用材料(中国)有限公司中国电子系统工程第四建设有限公司天津市武清区环境工程设备有限公司苏州艾特斯环保设备有限公司爱美克环保工业(武汉)有限公司东莞兆能环境科技有限公司中国电子系统工程第二建设有限公司上海盛剑环境系统科技有限公司唐纳森(中国)贸易有限公司上海点夺电子科技有限公司本标准主要起草人员:秦学礼肖红梅江元升莫金汉阎冬羌宁陆崎徐刚杜宝强赵海生湛云忠李杨吴新何菁李朝英永井勇2目次1总则(1)2术语(2)基本规定部信息公开4ege0egettgeee00e444gg0044g8(5)4工艺及工艺设备(12)4.1一般规定(12)4.2污染物控制(12)4.3应急设施(12)5碱性废气系统(14)5.1一般规定(14)5.2处理流程和方法(14)5.3处理设备(14)5.4风管及附件(16)6酸性废气系统(17)6.1一般规定(17)6.2氨氧化物、高浓度酸及电镀废气(17)7挥发性有机物废气系统(19)7.1一般规定(19)7.2废气收集、排风管道系统(20)7.3处理系统(20)7.4处理设备(22)7.5自动控制及安全措施(24)8特种废气系统8.1一般规定(26)8.2烷类尾气处理系统(26)。1