铂蒸发料 YST 1123-2016.pdf
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铂蒸发料
YST
1123-2016
蒸发
1123
2016
YS/T1123-2016铂蒸发料1范围本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮：存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1419一2004海绵铂GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQI)检索的逐批检验抽样计划GB/T15077一2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法3要求3.1产品分类3.1.1产品按照化学成分分为IC-Pt99.9.Pt99.99两个牌号。3.1,2产品主要分为片状、柱状，如图！所示。产品形状、定义及供货状态应符合表1的要求，需方有其他要求时由供需双方协商解决。a)片状b)柱状说明：A长度：1一长度：B一宽度：D一直径。C一厚度：图1铂蒸发料示意图表1铂蒸发料分类形状定义供货状态片状厚度为0.5mm5mm,长度为5mm20mm,宽度为5mm20mm的片材加T态柱状直径为2mm8mm.长度为3mm10mm的丝线材
