改良西门子法多晶硅用硅芯 YST 1061-2015.pdf

YS/T1061-2015改良西门子法多晶硅用硅芯1范围本标准规定了改良西门子法生产多品硅用硅芯的要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容等。本标准适用于以多品硅为原料，通过直拉法(CZ)生产硅棒再经过线切割加T或采用基座法拉制的硅芯。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551硅单晶电阻率测定方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收所量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T11336直线度误差检测GB/T14264半导体材料术语GB/T24582酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多品硅表面金属杂质GB/T29849光伏电池用硅材料表面金？，杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法3术语和定义GB/T11336和GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。4要求4.1分类4.1.1硅芯按截面形状分为圆形状、方形状、菱形状。4.12硅芯按纯度等级分为太阳能级多晶硅用硅芯和电子级多品硅用硅芯。4.2尺寸及外形硅芯的尺寸及外形应符合表1的规定。表1尺寸及外形项目要求直径（圆形状）/mb(612)士1边长（方形菱形状）/mm(88)士0.5(1515)士0.5长度/mm2000士2一3200士2