第５０卷第２４期２０２２年１２月广州化工ＧｕａｎｇｚｈｏｕＣｈｅｍｉｃａｌＩｎｄｕｓｔｒｙＶｏｌ.５０Ｎｏ.２４Ｄｅｃ.２０２２安全与管理关于半导体行业气体监控系统研究周长成，汪平，刘森（浙江创芯集成电路有限公司，浙江杭州３１００００）摘要：半导体工厂使用多样之特殊气体，特殊有：腐蚀性、氧化性、易燃性、自燃性、毒性、窒息性，这样的气体如果发生泄漏而我们毫无察觉，是一件非常危险的事情；因此为维护厂内人员安全、环境保护、公司财产、需要设置完善的气体侦测系统，以防患未然，气体监控系统作为半导体工厂内最重要的生命安全系统，是最重要的ＦＡＢ安全基石，但是侦测只是探测手段，不泄漏才是本质安全，重视侦测系统的同时，还要加强本质安全管理。关键词：半导体；气体侦测；安全中图分类号：ＴＰ２７３文献标志码：Ｂ文章编号：１００１－９６７７（２０２２）２３－０２３９－０４第一作者：周长成（１９８９－），男，本科，资深工程师，主要从事半导体气体化学专业。ＳｔｕｄｙｏｎＧａｓＭｏｎｉｔｏｒｉｎｇＳｙｓｔｅｍｉｎＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＩｎｄｕｓｔｒｙＺＨＯＵＣｈａｎｇ－ｃｈｅｎｇ，ＷＡＮＧＰｉｎｇ，ＬＩＵＳｅｎ（ＺｈｅｊｉａｎｇＣｈｕａｎｇＸｉｎＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔＣｏ.，Ｌｔｄ.，ＺｈｅｊｉａｎｇＨａｎｇｚｈｏｕ３１００００，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｖａｒｉｅｔｙｏｆｓｐｅｃｉａｌｇａｓｅｓａｒｅｕｓｅｄｉｎｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｆａｃｔｏｒｉｅｓ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｃｏｒｒｏｓｉｖｉｔｙ，ｏｘｉｄａｔｉｏｎ，ｆｌａｍｍａｂｉｌｉｔｙ，ｓｐｏｎｔａｎｅｏｕｓｃｏｍｂｕｓｔｉｏｎ，ｔｏｘｉｃｉｔｙａｎｄｓｕｆｆｏｃａｔｉｏｎ．Ｉｆｓｕｃｈｇａｓｅｓｌｅａｋｗｉｔｈｏｕｔｏｕｒａｗａｒｅｎｅｓｓ，ｉｔｉｓａｖｅｒｙｄａｎｇｅｒｏｕｓｔｈｉｎｇ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｍａｉｎｔａｉｎｔｈｅｓａｆｅｔｙｏｆｐｅｒｓｏｎｎｅｌｉｎｔｈｅｐｌａｎｔ，ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎａｎｄｃｏｍｐａｎｙｐｒｏｐｅｒｔｙ，ｉｔｉｓｎｅｃｅｓｓａｒｙｔｏｓｅｔｕｐａｃｏｍｐｌｅｔｅｇａｓｄｅｔｅｃｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍｔｏｐｒｅｖｅｎｔａｃｃｉｄｅｎｔｓ．Ａｓｔｈｅｍｏｓｔｉｍｐｏｒｔａｎｔｌｉｆｅｓａｆｅｔｙｓｙｓｔｅｍｉｎｔｈｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ...
