化学气相沉积炉 YST 1031-2015.pdf
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化学气相沉积炉
YST
1031-2015
化学
沉积
1031
2015
YS/T 1031-2015前言本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准主要起草人：戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华。I
