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制备钌靶用钌粉
YST
1068-2015
制备
钌靶用钌粉
1068
2015
ICS 77.150.99H68YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 1068-2015制备钉靶用钉粉Ruthenium powder for ruthenism sputttering target2015-04-30发布2015-10-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布YS/T 1068-2015前言本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。本标准起草人:谭志龙、郭俊梅、张俊敏、向磊、王传军、毕珺、闻明、管伟明、陈松、朱武勋。I