DB44T 1328-2014蓝宝石图形化衬底片测试技术规范.pdf

DB44/T1328-2014目次前言】范围2规范性引用文件3术语和定义4测试环境5测试方法6测试报告格式04*4443附录A(规范性附录扫描子显微镜测试图形化衬底片的图形结构附录B(规范性附录)原子力显徽镜测试图形化衬底片的图形结构附录C(规范性附录)其聚焦显微镜测试图形化衬底片的图形结构附录D(规范性附录)/金相显微镜测试图形化衬底片的表面质雪附录E(规范性附录)自动光学缺陷检查设备分类测试图形化衬底片的表面质量44444:9附录F(规范性附录动多点数值法测试图形化衬底片的图形致*10附录G(规范性附录)反射谱扫描图示法测试图形化衬底片的图一致性112DB44/T13282014蓝宝石图形化衬底片测试技术规范1范围本标准规定了用于制备LED的蓝宝石图形化衬底片的测试技术规范，包括蓝宝石图形化衬底片的图形结构、表面质量、图形一致性的测试要求和测试方法。本标准适用于制备半导体照明器件的氮化物外延生长所用蓝宝石图形化衬底片。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引风文件，汉注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引月文件，其最新版本（包括所有的修改单）道用于本文件。GB/T14264-2009半导体材料术语GB/T20307纳米级长度的扫描电镜测量方法通侧GB50073-2013洁净厂房设计规范SJ/T113952009/半导体照明术语3术语和定义GB/T14264一2009和SJ/T11395一2009界定的以及下列术语和定义适用于本文件3.1图形pattern具有微纳尺甘的几何特征结构。3.2蓝宝石图形化衬底patterned sapphire substratePSS在蓝宝石基底表面彩成具汽周烟4阵和布图形的衬底片3.3图形节距pattern pitch蓝宝石图形化衬底片上相邻图形儿何中心点之间的距离3.4图形高度pattern depth以蓝宝石基底平面为基准面，图形沿基准面法向的高度。3.5图形底宽pattern bottom width蓝宝石图形化衬底片上图形底部区域的最大宽度。4