DOI10.15302/J-SSCAE-2023.07.003中国工程科学2023年第25卷第1期高端光学元件超精密加工技术与装备发展研究蒋庄德1,2,3，李常胜1,2,3，孙林1,2,3，段端志1,2,3，康城玮1,2,3，陈杉杉1,2,3，林启敬1,2,3，杨树明1,2,3（1.西安交通大学机械工程学院，西安710049；2.西安交通大学高端制造装备协同创新中心，西安710054；3.机械制造系统工程国家重点实验室，西安710054）摘要：高端光学元件是决定高端装备性能水平的核心零件，研究高端光学元件超精密加工技术与装备发展，对于实施制造强国战略、满足高端装备产业需求具有积极意义。本文剖析了光学元件超精密加工方法与装备、高性能基础部件、超精密光学加工中的测量方法与装备等的发展情况，凝练了精度与尺寸极端化、形状与性能一体化、加工工艺复合化、加工与检测一体化、装备与工艺智能化等发展趋势。通过广泛的行业调研和研讨，从需求、目标、产品、关键技术、应用示范、支撑保障等方面着手，形成了面向2035年我国高端光学元件超精密制造技术路线图。针对性提出了优化创新体系设置、组织优势资源成立技术联盟，加大资源保障力度、布局基础研究和技术攻关计划，加强人才培育、构建梯队并扩大队伍规模，筑牢产业发展基础、培育龙头企业和专精特新“小巨人”企业等发展建议，以期促进高端光学元件加工产业提升与高质量发展。关键词：光学元件；精密制造；超精密机床；超精密加工；光学加工中图分类号：TH16文献标识码：AUltra-PrecisionMachiningTechnologyandEquipmentforHigh-EndOpticalElementsJiangZhuangde1,2,3,LiChangsheng1,2,3,SunLin1,2,3,DuanDuanzhi1,2,3,KangChengwei1,2,3,ChenShanshan1,2,3,LinQijing1,2,3,YangShuming1,2,3(1.SchoolofMechanicalEngineering,Xi’anJiaotongUniversity,Xi’an710049,China;2.CollaborativeInnovationCenterofHigh-EndManufacturingEquipment,Xi’anJiaotongUniversity,Xi’an710054,China;3.StateKeyLaboratoryforManufacturingSystemsEngineering,Xi’an710054,China)Abstract:High-endopticalelementsdeterminetheperformanceofhigh-endequipment.Researchingtheultra-precisionmachiningtechnologyandequipmentforhigh-endopticalelementsiscrucialforstrengtheningChina’smanufacturingindustryandsatisfyingtherequirementsofthehigh-endequipmentindustry.Inthisstudy,theultra-precisionmachiningmethodsandequipmentforopticalelements,high-...
