DB13T 5631-2022电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范.pdf

DB13/T5631-2022电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范1范围本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB50034建筑照明设计标准GB50073洁净厂房设计规范GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值（第一部分化学有害因素）GBZ188职业健康监护技术规范GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第8部分：噪声3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1电弧熔制arc fusion利用高温电弧熔融石英砂原料的过程。3.2涂层coating在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。4从业人员4.1职业健康应按照GBZ188的要求，对从业人员进行岗前、岗中、离岗职业健康体检，同时配备符合要求的个体防护用品，保证从业人员符合职业健康安全管理要求。4.2岗位技能从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训，经考核合格后方可上岗。5设备5.1熔制设备应具有电极开闭、升降、旋转、冷却、弧变、除尘等装置。5.2外表面处理设备应具有喷砂、研磨等功能。