DB1310T 227—2020电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范.pdf
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DB1310T
2272020电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
227
2020
电子
专用
材料
单晶硅
生长
石英
坩埚
工艺技术
规范
DB1310/T227-2020电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范1范围本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB8978污水综合排放标准GB12348工业企业厂界环境噪声排放标准GB16297大气污染物综合排放标准GB18597危险废物贮存污染控制标准GB18599一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准GB50034建筑照明设计标准GB50073洁净厂房设计规范GBZ2.1工作场所有害因素职业接触限值（第一部分化学有害因素）GBZ188职业健康监护技术规范GBZ/T189.8工作场所物理因素测量第8部分：噪声3术语和定义下列术语和定义适用于本文件3.1电弧熔制arc fusion利用高温电弧熔融石英砂原料的过程3.2涂层coating在石英坩埚内壁或外壁涂覆特种材料的过程。4从业人员4.1职业健康
