文章编号2097-1842（2024）02-0324-10基于掩模光刻的液晶波前校正器设计与制备杜莹1，陈梅蕊1，刘禹彤1，曹宗新1，毛红敏1，李小平2，孙会娟3*，曹召良1*（1.苏州科技大学物理科学与技术学院江苏微纳热流技术与能源应用重点实验室,江苏苏州215009；2.济源职业技术学院基础部,河南济源454682；3.北京联合大学数理部,北京100101）摘要：液晶波前校正器通常基于液晶显示器的工艺制备而成，因此其研制成本高、定制难度大。本文基于掩模光刻法制备液晶波前校正器，以实现液晶波前校正器的专用化、低成本研制。基于掩模光刻技术设计并制备了91像素的无源液晶驱动电极，并封装成液晶光学校正单元。设计并制备了驱动连接电路板，实现了液晶光学驱动单元和驱动电路板的匹配对接。对液晶波前校正器响应特性进行检测。结果显示，其相位调制量为5.5个波长，响应时间为224ms。利用Zygo干涉仪进行球面波的产生和静态倾斜像差的校正。结果显示，其可以产生正负离焦波前，且对水平倾斜像差校正后，Zernike多项式中第一项的值从1.18降至0.16，校正幅度达86%，实现了像差的有效校正。本文的研究工作可为液晶波前校正器的研制提供新思路，进而拓宽其应用领域和场景。关键词：液晶波前校正器；掩模光刻；波前；响应特性；像差校正中图分类号：O436文献标志码：Adoi：10.37188/CO.2023-0137DesignandfabricationofliquidcrystalwavefrontcorrectorbasedonmasklithographyDUYing1，CHENMei-rui1，LIUYu-tong1，CAOZong-xin1，MAOHong-min1，LIXiao-ping2，SUNHui-juan3*，CAOZhao-liang1*（1.JiangsuKeyLaboratoryofMicroandNanoHeatFluidFlowTechnologyandEnergyApplication,SchoolofPhysicalScienceandTechnology,SuzhouUniversityofScienceandTechnology,Suzhou215009,China；2.BasicDepartment,JiyuanVocationalandTechnicalCollege,Jiyuan454682,China；3.InstituteofMathematicsandPhysics,BeijingUnionUniversity,Beijing100101,China）*Correspondingauthor，E-mail:shjwwcnu@163.com;caozl@usts.edu.cnAbstract:Liquidcrystalwavefrontcorrectors(LCWFCs)exhibithighdevelopmentcostandcustomizationdifficultiesduetobeingfabricatedbasedontheprocesstechnologyofliquidcrystaldisplays.Toachievespe-收稿日期：2023-08-14；修订日期：2023-09-08基金项目：“十四五”江苏省重点学科资助（No.2021135）；北京联合大学科研项目资助（No.ZK70202007）；吉林省科...
