2023年1月云南化工Jan．2023第50卷第1期YunnanChemicalTechnologyVol.50，No.1doi:10.3969/j.issn.1004-275X.2023.01.21电感耦合等离子光谱法测定工业硅中铁含量的不确定度评定黄鹏，邹姣＊＊(四川永祥多晶硅有限公司分析检测中心，四川乐山614800)摘要:依据国家标准GBT14849.4－2014，采用电感耦合等离子体光谱法，对工业硅(质量分数99%以上)中铁元素含量进行测量不确定度分析．从标准溶液、标液配制、人员操作、标准曲线拟合、样品处理、仪器设备、试验环境等多个方面进行不确定度评估。结果显示铁质量分数在0.60%时，该方法合成不确定度为0.015%，扩展不确定度为0.030%(k=2)。同时根据不确定度引入分量占比评估发现，对不确定度引入最大因素为:人员操作(重复性)、标准曲线拟合和标准溶液。试剂称量及体积影响较小。关键词:工业硅;等离子体光谱法;铁含量;测量不确定度;多晶硅中图分类号:O657文献标识码:A文章编号:1004－275X(2023)01－0074－03EvaluationofUncertaintyforDeterminationofIronContentinIndustrialSiliconbyInductivelyCoupledPlasmaSpectrometryHuangPeng，ZouJiao＊＊(AnalysisandTestingCenter，SichuanYongxiangPolysiliconCo．，Ltd．，Leshan614800，China)Abstract:AccordingtothenationalstandardGBT14849．4－2014，inductivelycoupledplasmaspectroscopywasusedtoanalyzethemeasure-mentuncertaintyofironcontentinindustrialsilicon(contentofmorethan99%)．Theuncertaintywasevaluatedfrommanyaspects，suchasstandardsolution，standardsolutionpreparation，personneloperation，standardcurvefitting，sampleprocessing，instrumentandequipment，andtestenvironment．Theresultsshowthatthesyntheticuncertaintyis0．015%andtheextendeduncertaintyis0．030%(k=2)whentheironcontentis0．60%．Atthesametime，accordingtotheevaluationoftheproportionoftheintroducedcomponentsofuncertainty，itisfoundthatthebiggestfactorsforuncertaintyarepersonneloperation(repeatability)，standardcurvefittingandstandardsolution．Ｒeagentweighingandvolumehavelittleeffect．Keywords:industrialsilicon;plasmaspectroscopy;ironcontent．measurementuncertainty;polysilicon工业硅是西门子法生产多晶硅的最主要原料，工业硅中金属杂质含量对多晶硅生产过程中各环节金属杂质含量有直接影响。目前国内工业硅生产主要...
