专用设备制造行业：以长江存储为例国内存储芯片的设备供应链格局解析-20190411-国泰君安-15页.pdf

请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 2019.04.11 国内存储芯片的设备供应链格局解析国内存储芯片的设备供应链格局解析 以长江存储为例以长江存储为例 韦钰（分析师）韦钰（分析师）黄琨（分析师）黄琨（分析师）021-38032029 021-38674935 证书编号 S0880519010002 S0880513080005 本报告导读：本报告导读：以长江存储的高频公示数据为例，探究刻蚀设备、成膜设备、清洗设备、量测设备等的国产设备厂商供应格局。以长江存储的高频公示数据为例，探究刻蚀设备、成膜设备、清洗设备、量测设备等的国产设备厂商供应格局。摘要：摘要：结论结论：我们认为，包括长江存储在内的存储器/代工厂将于 2019-2020 年陆续进入设备采购与搬入的高峰阶段，而国内设备厂商已经在多个核心设备细分领域实现拓展。重点推荐：北方华创、精测电子、长川科技、至纯科技；受益标的：中微公司（科创板）、盛美半导体（纳斯达克）。以长江存储的设备供应数据来分析国内存储芯片的设备供应格局，具有较强代表意义：以长江存储的设备供应数据来分析国内存储芯片的设备供应格局，具有较强代表意义：长江存储是目前国内投资规模、规划产能最高的存储器项目，处于稳步爬坡过程中；回顾 2018 年，该项目对国产设备支持力度较大；展望 2019 年，根据产业调研，项目已进入第二阶段 20K 产能爬坡期，处于设备采购与搬入的高峰阶段。而我们从近期的招投标数据中，也可对这一结论做充分验证；因此，我们采用了长江存储的高频公示数据，并尽力排除意向订单、真实合同与设备进场三者之间存在的时间差，以及 demo 机和框架合同等不确定因素的扰动，对设备供应链进行分析。北方华创、中微公司等设备厂商加速实现供应：北方华创、中微公司等设备厂商加速实现供应：刻蚀设备：中微公司在第二阶段采购中，机台市占率达到 16%，略有提升，主要为硅通孔 TSV 及介质刻蚀 CCP 设备，后续有望持续放量；而北方华创的硅槽刻蚀设备开始进入供应链，后续有望贡献较大增量；成膜设备：整体国产化率较低，为 2%左右。但其中北方华创的 Al PadPVD 有较强优势，后续重点关注铜互连 PVD 的验证进程；而沈阳拓荆的PECVD 竞争力较强，在第二阶段占有率略有提升；清洗设备：第一阶段中盛美半导体市占率约 18%、北方华创市占率约 5%；第二阶段盛美保持 20%以上的机台市占率，在单片清洗领域有较大优势。盛美的新品已于 1 月份出货，判断其未来清洗设备市占率有望持续提升；氧化/退火设备：目前北方华创的炉管设备已成为国内主流厂商扩散氧化炉的首选，机台市占率 30%以上。而 Mattson 的快速热退火 RTP 设备市场份额全球领先，具有较明显的竞争优势，未来二者将直接受益订单放量；量测设备：睿励科仪实现了薄膜测量系统的供应，中科飞测实现了光学表面三维形貌量测设备的供应；后者在 Metrology 和 Inspection 领域均在国内主流芯片厂商取得批量订单并安装使用；CMP 设备：华海清科的抛光机已在长江存储、中芯国际、华力的生产线上使用，是国内 CMP 设备的领头企业，未来有望持续拓展。风险因素：风险因素：技术开发风险、受行业景气影响的风险 评级：评级：增持增持 上次评级：增持 相关报告 专用设备制造业：中微半导体完成科创板上市辅导，设备行业多点开花 2019.03.28 专用设备制造业：京东方OLED项目公告，国内设备商加速突破 2018.12.26 专用设备制造业：10 月用电量同比增长6.7%，煤价持续下行 2018.11.18 专用设备制造业：维信诺OLED项目公告，国内设备商加速突破 2018.10.23 专用设备制造业：激光器、注塑机、工业机器人等通用设备行业孕育的机遇 2018.08.20 行业专题研究行业专题研究专用设备制造业专用设备制造业 股票研究 股票研究 证券研究报告证券研究报告 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 2 of 15 目目 录录 1.为何以长江存储为例？.3 1.1.长江存储是国内投资规模、规划产能最高的项目之一.3 1.2.回顾 2018 年，长江存储对国产设备支持力度较大.4 1.2.1.分析前提：公开数据与真实情况有差异，但不影响整体格局 4 1.2.2.长江存储的整体设备国产化率较高.5 1.2.3.与下游设备、材料商合资成立研发中心，支撑产业发展.6 1.3.展望 2019 年，长江存储进入设备采购与搬入的高峰期.7 1.3.1.据产业调研，长江存储已进入第二阶段 20K 产能爬坡期.7 1.3.2.近期招投标数据可对产业调研结论做充分验证.7 2.北方华创、中微公司等厂商加速实现供应.8 2.1.刻蚀设备：中微市占率提升，北方硅刻蚀进入供应链.8 2.2.成膜设备：北方的 PVD、拓荆的 PECVD 有较大提升空间.9 2.3.清洗设备：盛美在单片清洗领域保持较大优势.9 2.4.氧化/退火设备：北方的炉、Mattson 的 RTP 有明显优势.10 2.5.量测设备：中科飞测、睿励科仪实现突破.10 2.6.研磨抛设备：华海清科实现多家供应.11 2.7.其他国产设备厂商：北京京仪、沈阳科仪.12 3.结论及投资建议.12 4.风险因素.14 4.1.技术开发风险.14 4.2.受行业景气影响的风险.14 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 3 of 15 1.为何以长江存储为例？为何以长江存储为例？1.1.长江存储是国内投资规模、规划产能最高的项目之一长江存储是国内投资规模、规划产能最高的项目之一 长江存储是国内三大存储器项目之一长江存储是国内三大存储器项目之一（另外二者为福建晋华、合肥长鑫），是国内实现存储芯片国产化率提升的重点支持项目。“长江存储”的实施主体长江存储科技有限责任公司于 2016 年 7 月在中国武汉成立，是一家专注于 3D NAND 闪存芯片设计、生产和销售的 IDM 存储器公司。长江存储为全球工商业客户提供存储器产品，广泛应用于移动设备、计算机、数据中心和消费电子产品等领域。图图 1：长江存储：长江存储项目项目于于 2016 年年启动，启动，2018 年实现试投片年实现试投片 数据来源：长江存储官网、国泰君安证券研究 相比于另外相比于另外两两个项目，长江存储的投资规模、规划产能更高个项目，长江存储的投资规模、规划产能更高。按照规划，长江存储一期主要产品为 3D NAND，预计投入 240 亿美元（1612 亿人民币），到 2020 年形成月产能 30 万片的生产规模（分三期，每期 10 万片/月），到 2030 年建成每月 100 万片的产能；而合肥长鑫项目主要产品为 DRAM，预计投资额 72 亿美元（484 亿人民币），规划到 2019 年底一厂实现产能 2 万片/月，2020 年开始规划二厂建设；福建晋华项目主要产品为 DRAM，一期总投资 370 亿人民币（55 亿美元），到 2019 年底一厂一期项目实现月产 6 万片产能，到 2020 年底一厂二期同样达产 6 万片。表表 1 1:长江存储的投资规模、规划产能长江存储的投资规模、规划产能最最高高 公司公司 地点地点 生产项生产项目目 技术技术节点节点 投资金额投资金额(亿美元亿美元)月产能月产能(万片万片)生产生产状态状态 签订签订/启启动时间动时间 开工时开工时间间 封顶封顶/搬搬入设备入设备 投产投产时间时间 量产量产时间时间 长江长江存储存储 武汉 3D NAND Flash 4050nm 240 30（2020年）投产 2016/3/28 2016/12/30 2018 年 4月 2018年底 2020年 合肥合肥长鑫长鑫 合肥 DRAM 19nm 72 2（2019 年一厂）投产 2016 年5 月 2017 年5 月 2018 年 1月 2018年底 2019年底 福建福建晋华晋华 泉州 DRAM 32-20nm 55 6（2019年一厂）暂停 2016 年5 月 2016/7/16 2018 年 7月-2019年底 数据来源：各公司官网、国泰君安证券研究 2016.2016.02.2302.23国务院批复国家存国务院批复国家存储器基地落户武汉储器基地落户武汉2016.2016.07.2607.26长江存储科技有长江存储科技有限责任公司成立限责任公司成立2017.072017.073232层层3 3D D NANDNAND闪存芯闪存芯片片T/OT/O设计完成设计完成2016.2016.03.2803.28国家存储器基地奠基国家存储器基地奠基2016.2016.12.3012.30正式开工建设正式开工建设2017.112017.113232层层3 3D D NANDNAND闪存芯闪存芯片完成首次验证片完成首次验证2017.2017.09.2809.28厂房主体厂房主体提前提前封顶封顶2018.2018.04.1104.11生产机台正式进场安装生产机台正式进场安装20192019年年底底6464层层3 3D D NANDNAND闪闪存存量产量产20182018年年底底3232层层3 3D D NANDNAND闪存闪存芯片试产芯片试产 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 4 of 15 图图 2：长江存储的投资规模、规划产能长江存储的投资规模、规划产能最最高高 数据来源：各公司官网、国泰君安证券研究 因此，考虑到：1）长江存储的中期及长期投资规模较大；2）长江存储目前处于稳步推进的过程中，投产、量产等时点相对比较确定；3）长江存储背靠的紫光集团后续在南京、成都等地依旧有较长期、较大规模的投资规划。我们认为，以长江存储的设备供应链来分析整个存储芯片的供应链格局，具有较强的代表意义。1.2.回顾回顾 2 2018018 年，长江存储对国产设备支持力度较大年，长江存储对国产设备支持力度较大 1.2.1.分析前提：公开数据与真实情况有差异，但不影响整体格局分析前提：公开数据与真实情况有差异，但不影响整体格局 2018 年第一季度，合肥长鑫率先移入机台设备；2018 年 4 月 11 日，长江存储武汉基地芯片生产机台正式进场安装，标志着这两大存储器基地纷纷从厂房建设阶段进入量产准备阶段。而根据一般经验，设备的采购与意向订单下发一般领先于设备进场而根据一般经验，设备的采购与意向订单下发一般领先于设备进场 6 6-1212个月个月，而数据的公示又而数据的公示又往往往往滞后于意向订单签订。滞后于意向订单签订。这其中存在三类例外：1）部分 free demo 设备（主要是想要新进入供应链的设备商）与厂商的接触可能更早，并且这些设备最终不会出现在公开的采购信息中。但我们认为，free demo 的目的是为了实现最终的批量化供应，在设备成熟且正式进入供应链后，依旧会出现在后续的重复采购公示中；2）部分价值量较低，未达到公示要求的设备（主要是批量重复性采购的设备与配件耗材等）与厂商接触比较频繁，这些订单也不会准确的出现在公开的采购信息中，但由于这类设备价值量较低，不影响我们对整体供应链格局的分析；3）部分设备商会在年初提前与下游厂商签订全年合作意向框架。但一般来说，年初的意向框架在年内仍会落实到具体合同上，并且在公开的数据中反映出来。福建晋华福建晋华DRAMDRAM5353亿美元亿美元长江存储长江存储3D NAND 3D NAND FlasFlash h240240亿美元亿美元合肥长鑫合肥长鑫DRAMDRAM7272亿美元亿美元 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 5 of 15 图图 3：新的设备厂进入供应链需要多个步骤、较长时期，因此可能会对公开数据的完整性产生影响新的设备厂进入供应链需要多个步骤、较长时期，因此可能会对公开数据的完整性产生影响 数据来源：国泰君安证券研究 由于意向订单签订、真实合同公示、设备进场这三者之间存在的以上关系，导致了我们在分析过程中需要注意两点时间差：1）从规划投产到达到流片的阶段，合同公示与设备进场之间的时差更大，一般合同公示领先于真实设备进场 6 个月以上；2）从投产流片到爬坡量产的阶段，合同公示与设备进场之间的时差缩短，一般时间差在 6 个月以内。我们充分的考虑到了以上说的几点差异，并且认为，即使是排除掉以上说的三点例外和两点时间差，我们仍然可以从公开的招投标数据中找到设备供应链的格局变化及供应规律。以下分析中我们会尽可能的依据真实调研情况进行数据调整，以力求反映出真实采购情况，也欢迎大家与我们一同讨论并改进。1.2.2.长江存储的整体设备长江存储的整体设备国产化率国产化率较高较高 自 2017 年初开工至 2018 年底投产，长江存储项目花费了 2 年时间实现了“质变”的过程。在这两年期间，长江存储共采购了 17 批设备，共计约 2000 台左右设备。我们通过对历史数据的综合计算，发现长江存储是目前所有产线中对于国产设备最为友好的产线之一。具体来说，在前 17 批设备采购中，长江存储的刻蚀设备国产化率接近15%，主要的国产供应商是中微公司；清洗设备国产化率达到 23%，主要的国产供应商是盛美和北方华创；而氧化/退火设备的国产化率达到 30%以上，主要的国产供应商为北方华创和 Mattson；泵的国产化率达到 35%,主要的干泵国产供应商为沈阳科仪；温控设备的国产化率达到 65%，主要的国产供应商为北京京仪；去胶设备、热处理设备的国产化率达到100%，主要的国产供应商为 Mattson。但相对来说，项目初期的成膜设备的国产化率较低，约为 2-3%，主要的国产供应商是北方华创+沈阳拓1.3.Pattern wafer 3-6 4.3-6 5.3-6 2.free demo Blanket wafer 6.baseline mini fab /行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 6 of 15 荆；量测设备的国产化率也较低，约为 1-2%，主要的国产供应商是睿励科仪；而光刻机、涂胶显影设备、测试设备、研磨抛设备的国产率最低，几乎为 0。图图 4：长江存储前长江存储前 17 批采购设备中的整体国产化率较高批采购设备中的整体国产化率较高 数据来源：长江存储科技有限责任公司、国泰君安证券研究 以上是前 17 批采购设备的总体国产化率总结，我们在此前也有过深入分析，在此不再赘述。下文我们将针对 19 年以来几个批次（18-24 批）的采购设备，在第二章进行各类设备的具体供应格局分析。1.2.3.与下游设备、材料商合资成立研发中心，与下游设备、材料商合资成立研发中心，支撑产业发展支撑产业发展 除直接采购外，我们在股权合作、研发合作、投资合作等领域也发现了长江存储对国产设备、材料厂商的支持。2018 年 12 月 26 日，长江先进存储产业创新中心有限责任公司成立。其中长江存储认缴出资额 1.5 亿元，出资比例 34.48%；武汉新芯认缴出资 0.75 亿元，出资比例 17.24%。根据天眼查资料，公司其他股东有包含院校背景的投资机构中科微投资（中科院微电子所）、华科大产业集团（华科大）、复旦资产（复旦）等；包含地方政府背景的投资机构武汉光谷创投等；设备厂商北方华创（刻蚀、成膜、清洗、氧化等设备）、精测电子（测试、量测设备）、至纯科技（高纯工艺系统及清洗设备）、华海清科（CMP 设备）等；材料厂商晶瑞股份、上海新阳、江丰电子等。我们认为，通过建立国家先进存储产业创新中心，长江存储能够联合行业内创新资源，通过企业主导、院校协作、多元投资、成果分享的新模式，培育存储芯片新兴产业集群，构建全国先进存储自主创新的设备、材料供应链。中微公司15%海外公司85%刻蚀设备盛美18%北方华创5%海外公司77%清洗设备Mattson3%北方华创30%海外公司67%氧 退火沈阳科仪37%海外公司63%泵北京京仪67%海外公司33%温控设备Mattson100%胶RTP北方华创1%沈阳拓荆1%海外公司98%膜设备睿励科仪1%海外公司99%量 设备 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 7 of 15 图图 5：长江存储与下游设备、材料商合资成立研发中心：长江存储与下游设备、材料商合资成立研发中心 数据来源：天眼查、国泰君安证券研究 1.3.展望展望 2 2019019 年，长江存储进入设备采购与搬入的高峰期年，长江存储进入设备采购与搬入的高峰期 1.3.1.据产业调研，长江存储已进入第二阶段据产业调研，长江存储已进入第二阶段 20K 产能爬坡期产能爬坡期 我们在此前的半导体设备专题报告中说过，长江存储至 18 年底已公示设备主要是对应公司第一阶段 5-8K/月产能。按照具体节奏来看，第一阶段 5-8K/月产能对应设备从 17 年 Q3、Q4 开始招标，2018 年 5-7 月设备陆续进场。根据我们对于产业链的调研，公司已经进入产能爬坡阶段，预计将在 2018 年 12 月份到 2019 年 1 月左右招标第二阶段新增20K/月产能对应设备，该阶段设备计划在 2019 年 5-6 月份进场。考虑到按照规划，长江存储到 2020 年将形成月产能 30 万片（分三期，每期 10 万片/月）的生产规模，19-20 年将成为国产设备获取订单的最重要时间节点。1.3.2.近期招投标数据可对产业调研结论做充分验证近期招投标数据可对产业调研结论做充分验证 从招标批次的密度和招标设备的数量来看，2017 年 Q4 为第一次设备招标高峰，与第一阶段 5-8K 产能对应；2019 年 Q1 开始，以第 18 批采购为关键分割点，设备招标迎来了第二次高峰，与第二阶段 20K 产能爬坡对应。我们认为，对于第二批次采购中的设备供应格局分析尤为重要我们认为，对于第二批次采购中的设备供应格局分析尤为重要。一方面，设备经过第一阶段（1-17 批次采购）的使用检验，再次进入第二阶段（18批次开始）采购列表，证明了设备本身的竞争优势；另一方面，排除新的国产设备仍在加速实现进口替代这一因素，进入第二阶段的国产设备供应商大概率可以在第三阶段实现放量，伴随下游产线实现从“质变”到“量变”的过程。因此，下文我们将分具体设备品类对设备的供应格局做具体分析。长江先 至纯科技2.3%江丰电子2.3%瑞股份2.3%北方华创4.6%武汉新芯17.24%长江存储34.48%中科微11.49%精 电子4.6%上海新阳2.3%华天相关2.3%华海清科1.15%行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 8 of 15 图图 6：招投标数据与产业调研结论互为印证招投标数据与产业调研结论互为印证 数据来源：设备交易平台、国泰君安证券研究 注：本数据中剔除泵、气体设备、温控设备，这三类设备单批次采购量非常高，容易影响分析结果 2.北方北方华创华创、中微、中微公司公司等厂商加速等厂商加速实现供应实现供应 2.1.刻蚀设备刻蚀设备：中微市占率提升，北方中微市占率提升，北方硅刻蚀硅刻蚀进入供应链进入供应链 总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 107 台各类刻蚀设备；第二阶段至今（2019 年 4 月 6 日），已经采购了 62 台刻蚀设备。以机台占有率统计，第一阶段中微公司在刻蚀设备中的占有率约为 15%；进入第二阶段，中微公司的机台市占率达到 16%，略有提升。具体来说，第二阶段至今中标的 10 台设备包含 3 台硅通孔（TSV）/接触孔刻蚀设备及 7 台介质刻蚀设备。表表 2 2:中微半导体的硅通孔、介质刻蚀具有较强优势中微半导体的硅通孔、介质刻蚀具有较强优势 公司公司 具体设备具体设备 分类分类 台数台数 北方华创（第二批）北方华创（第二批）硅槽刻蚀设备 硅刻蚀 3 中微中微公司公司（第二批）（第二批）接触孔刻蚀设备 硅通孔/接触孔刻蚀 2 通孔（via）刻蚀设备 1 介质等离子孔洞蚀刻设备 介质刻蚀 2 介质等离子掩膜蚀刻设备 2 介质等离子氧化层蚀刻设备 2 氧化硅刻蚀 1 中微中微公司公司（第（第一一批）批）接触孔刻蚀 硅通孔/接触孔刻蚀 4 通孔（via）刻蚀设备 7 介质等离子蚀刻设备 介质刻蚀 3 等离子蚀刻机 4 氧化硅刻蚀 1 数据来源：设备交易平台、国泰君安证券研究 05010015020025030035040017Q317Q418Q118Q218Q318Q419年Q1（至17批之前）19年Q1（第18批开始）设备台数招标批次量第二阶段采购，对应20K/月爬坡阶段第一阶段采购，对应5-8K/月产能 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 9 of 15 值得关注的是，北方华创的硅槽刻蚀设备首次进入供应链，约为 3 台。在硅槽刻蚀设备细分领域，达到了 3/8 的占有率。总体来说，在国产设备中，我们认为中微公司在硅通孔 TSV/接触孔刻蚀、CCP 介质刻蚀方面具有较强优势，后续有望持续放量；而北方华创的硅刻蚀设备开始进入产线，后续有望贡献较大增量。2.2.成膜设备成膜设备：北方的北方的 P PVDVD、拓荆的、拓荆的 P PE EC CVDVD 有较大提升空间有较大提升空间 总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 147 台各类成膜设备，包括 33台 ALD、89 台 CVD、8 台 PVD；第二阶段至今（2019 年 4 月 6 日），已经采购了 154 台成膜设备，包括 50 台 ALD、81 台 CVD、6 台 PVD。以机台占有率统计，第一阶段北方华创、沈阳拓荆在成膜设备中的占有率约为1-2%；进入第二阶段，北方华创同样供应了 1 台 Al Pad PVD，而拓荆供应了 3 台 PECVD，占有率略有提升。根据我们的了解，在半导体器件制造过程中，Al Pad PVD 用于后道金属互联，为芯片中各器件提供电子信号、微连线等作用。而北方华创的 Al Pad PVD已经成为中芯国际的baseline机台，具有较强优势。展望长期，我们认为北方华创的铜互连 PVD 理论上已经进入产线验证阶段，未来有望贡献较大增量。表表 3 3:北方华创的北方华创的 Al Pad PVDAl Pad PVD、沈阳拓荆的、沈阳拓荆的 P PECVDECVD 具有较强优势具有较强优势 公司公司 具体设备具体设备 分类分类 台数台数 北方华创（第二批）北方华创（第二批）铝垫物理气相沉积机台 Al Pad PVD 1 沈阳拓荆（第二批）沈阳拓荆（第二批）前端等离子体增强方式氮化硅薄膜化学气相沉积设备 PECVD 1 后端等离子体增强方式氮氧化硅薄膜化学气相沉积设备 1 后端等离子体增强方式以硅酸四乙酯作反应物的二氧化硅薄膜化学气相沉积设备 1 北方华创（第一批）北方华创（第一批）铝垫物理气相沉积机台 Al Pad PVD 2 沈阳拓荆（第一批）沈阳拓荆（第一批）后端等离子体增强方式氮化硅薄膜化学气相沉积设备 PECVD 1 数据来源：设备交易平台、国泰君安证券研究 2.3.清洗设备清洗设备：盛美在单片清洗领域保持较大优势：盛美在单片清洗领域保持较大优势 总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 44 台清洗设备；第二阶段至今（2019 年 4 月 6 日），已经采购了 13 台清洗设备。以机台占有率统计，第一阶段盛美半导体的市占率约 18%、北方华创的清洗设备市占率约 5%；进入第二阶段，盛美半导体保持了 20%以上的市占率，而北方华创暂时还没有供应，主要是目前还没大规模招标的原因。目前国内在清洗设备中有所布局的包括盛美、北方华创、至纯科技三家公司。总体而言，目前盛美在单片清洗领域具有较强优势。在近期的SEMICON 展上，公司展示了三款最新产品，分别是多阳极局部电镀铜设备 Ultra ECP map Tool、先进封装抛铜设备 Ultra SFP-Advanced Packaging 以及 Ultro C-Tahoe 高温硫酸清洗设备。根据了解，这三款新产品都已收获订单，其中清洗设备已经于 19 年 1 月份出货，抛光设备未来 2-3 月将交付客户。判断盛美未来在清洗等设备上的市占率有望持续提升。行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 10 of 15 表表 4 4:盛美半导体在清洗设备领域具有较强优势盛美半导体在清洗设备领域具有较强优势 公司公司 具体设备具体设备 分类分类 台数台数 盛美半导体（第二批）盛美半导体（第二批）单片清洗机 单片清洗 1 12 寸晶圆单片式轻聚合物化学清洗机 2 北方华创（第一批）北方华创（第一批）制程挡控片蚀刻回收清洗机 挡控片清洗 2 盛美半导体（第一批）盛美半导体（第一批）12 寸晶圆单片式晶背清洗机 单片清洗 1 12 寸晶圆单片式硅晶延前&无定型碳后清洗机 1 单片清洗机 1 单片式钨制程化学清洗机 2 制程控片回收清洗机 挡控片清洗 3 数据来源：设备交易平台、国泰君安证券研究 2.4.氧化氧化/退火设备：退火设备：北方的炉、北方的炉、MattsonMattson 的的 R RTPTP 有明显优势有明显优势 总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 8 台氧化设备和 22 台退火设备；第二阶段至今（2019 年 4 月 6 日），已经采购了 11 台氧化设备和 18台退火设备。以机台占有率统计，第一阶段北方华创在氧化退火设备领域的市占率约 30%、Mattson 在快速热退火领域市占率约 20%；进入第二阶段，北方华创将近 50%的市占率，而 Mattson 暂时还没有供应，主要是目前还没大规模招标的原因。总体来说，目前北方华创的立式炉、卧式炉设备达到目前处于国内半导体设备的领先水平，已经成为主流厂商扩散氧化炉设备的首选。而Mattson 的快速热退火 RTP 设备目前市场份额占全球第二，同时进入了台积电 5nm 逻辑制程，具有较明显的竞争优势，未来二者将直接受益订单放量。表表 5 5:北方华创的立式炉、北方华创的立式炉、MattsonMattson 的的 R RTPTP 具有较强优势具有较强优势 公司公司 具体设备具体设备 分类分类 台数台数 北方华创（第二批）北方华创（第二批）立式高温退火设备 退火炉 5 气体驱离及源极退火设备 2 立式常压氧化设备 氧化炉 8 北方华创（第一批）北方华创（第一批）立式高温退火设备 退火炉 6 立式常压氧化设备 氧化炉 3 MattsonMattson（第一批）（第一批）高温快速热退火设备 RTP 1 数据来源：设备交易平台、国泰君安证券研究 2.5.量量测设备测设备：中科飞测：中科飞测、睿励科仪、睿励科仪实现突破实现突破 总体来看，量测设备品类众多且国产化较难突破。长江存储在第一阶段共采购了 173 台量测设备，但其中最核心的表面/缺陷检测共 32 台、膜厚/CD 测量共 56 台；第二阶段至今（2019 年 4 月 6 日），已经采购了 62台量测设备，其中最核心的表面/缺陷检测共 18 台、膜厚/CD 测量共 34台。整体来说，量测设备国产化目前进展较慢，统计机台占有率没有太大意义。在第一阶段招标中，国产设备厂商睿励科仪中标了 1 台薄膜测量系统；在第二阶段招标中，国产设备厂商中科飞测中标了 1 台光学表面三 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 11 of 15 维形貌量测设备。根据我们的了解，目前中科飞测是国内唯一一家在Metrology（量测）和 Inspection（缺陷检测）两大领域均在国内 TOP 的芯片厂商取得批量订单并安装使用的半导体光学检测设备供应商；而睿励科仪的 TFX3000 薄膜测量设备取得三星的重复订单。除了这两家公司，包括上市公司精测电子在内的国产设备厂商也在积极布局前道量测设备，并且有相关产品进入了前期验证阶段。图图 7：中科飞测的表面形貌测量和睿励科仪的薄膜测量设备进入了长江存储的供应链中科飞测的表面形貌测量和睿励科仪的薄膜测量设备进入了长江存储的供应链 数据来源：中科飞测、睿励科仪 2.6.研磨抛设备：华海清科研磨抛设备：华海清科实现多家供应实现多家供应 总体来看，长江存储在第一阶段共采购了 16 台化学机械抛光机 CMP，均为应用材料供应；第二阶段至今（2019 年 4 月 6 日），已经采购了 26 台研磨抛设备，包括 16 台化学机械抛光机 CMP 和 10 台研磨/修边机。我们刨除 DISCO 的研磨/修边机，只讨论 CMP 设备。在第一阶段招标中，国产设备厂商没有实现供应；在第二阶段招标中，国产设备厂商华海清科中标了 4 台 CMP 设备。根据我们的了解，华海清科的抛光机已在中芯国际、华力的生产线上使用，是国内 CMP 设备的领头企业，未来有望持续拓展。除此之外，包括上市公司天通股份在内的国产设备厂商也在积极布局 CMP 设备。图图 8：华海清科的：华海清科的 CMP 设备进入了长江存储、中芯国际等的供应链设备进入了长江存储、中芯国际等的供应链 数据来源：华海清科 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 12 of 15 2.7.其他国产设备厂商：北京京仪、沈阳科仪其他国产设备厂商：北京京仪、沈阳科仪 除了以上分析的设备，还有干泵和温控/气体设备两大类设备值得关注。在第一阶段招标中，温控/气体设备的国产化率约 35%，主要供应厂商为北京京仪；泵的国产化率也约 35%，主要供应厂商为沈阳科仪；在第二阶段招标中，温控/气体设备、泵同样保持了较高的国产化率。根据我们的了解，北京京仪目前的主要产品包括半导体温控装置系列、机器人系列（Wafer Sorter/AMR）、废气处理装置系列（Local Scrubber）等专用设备，现已广泛应用于半导体、LED、LCD 等领域。沈阳科仪目前的主要产品包括各类真空获得设备、LED 衬底及窗口片设备、PVD 镀膜设备、CVD 镀膜设备等，主要用于薄膜材料制备设、纳米材料制备、真空冶金、太阳能光伏、集成电路等领域。表表 6 6:沈阳科仪、北京京仪在各自领域实现成熟供应沈阳科仪、北京京仪在各自领域实现成熟供应 公司公司 具体设备具体设备 分类分类 台数台数 沈阳科仪（第二阶段）沈阳科仪（第二阶段）干泵 泵 160 北京京仪（第二阶段）北京京仪（第二阶段）蚀刻-Chiller1 温控设备 266 燃烧式除害设备 气体设备 44 沈阳科仪（第一阶段）沈阳科仪（第一阶段）干泵 泵 196 北京京仪（第一阶段）北京京仪（第一阶段）蚀刻湿法燃烧式除害设备 气体设备 4 蚀刻-Chiller1 温控设备 126 蚀刻-Chiller 27 数据来源：设备交易平台、国泰君安证券研究 3.结论及投资建议结论及投资建议 图图 9：长江存储各类核心设备的主要供应商市场份额：长江存储各类核心设备的主要供应商市场份额 数据来源：国泰君安证券研究 行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 13 of 15 以长江存储的设备供应数据来分析国内存储芯片的设备供应格局，具有以长江存储的设备供应数据来分析国内存储芯片的设备供应格局，具有较强代表意义：较强代表意义：长江存储是目前国内投资规模、规划产能最高的存储器项目，处于稳步爬坡过程中；回顾 2018 年，该项目对国产设备支持力度较大；展望 2019 年，根据产业调研，项目已进入第二阶段 20K 产能爬坡期，处于设备采购与搬入的高峰阶段。而我们从近期的招投标数据中，也可对这一结论做充分验证；因此，我们采用了长江存储的高频公示数据，并充分考虑了意向订单、真实合同与设备进场三者之间存在的时间差，对设备供应链进行分析。我们认为，尽管存在 demo 机和框架合同等因素的扰动，我们仍然可以从公开的招投标数据中找到设备供应链的格局变化及供应规律。北方华创、中微公司等设备厂商加速实现供应：北方华创、中微公司等设备厂商加速实现供应：刻蚀设备：中微公司在第二阶段采购中，机台市占率达到 16%，略有提升，主要为硅通孔 TSV 及介质刻蚀 CCP 设备，后续有望持续放量；而北方华创的硅槽刻蚀设备开始进入供应链，后续有望贡献较大增量；成膜设备：整体国产化率较低，为 2%左右。但其中北方华创的 Al Pad PVD 有较强优势，后续重点关注铜互连 PVD 的验证进程；而沈阳拓荆的PECVD 竞争力较强，在第二阶段占有率略有提升；清洗设备：第一阶段采购中，盛美半导体市占率约 18%、北方华创市占率约 5%；进入第二阶段，盛美保持 20%以上的机台市占率，在单片清洗领域保持较大优势。盛美的新品 Ultro C-Tahoe 高温硫酸清洗设备已于 19 年 1 月份出货，判断其未来在清洗设备上的市占率有望持续提升；氧化/退火设备：目前北方华创的炉管设备已成为国内主流厂商扩散氧化炉的首选，机台市占率 30%以上。而 Mattson 的快速热退火设备市场份额全球领先，具有明显的竞争优势，未来二者将直接受益订单放量；量测设备：品类众多且国产化较难突破，但睿励科仪实现了 1 台薄膜测量系统的供应，中科飞测实现了 1 台表面三维形貌量测设备的供应；CMP 设备：华海清科的抛光机已在长江存储、中芯国际、华力的生产线上使用，是国内 CMP 设备的领头企业，未来有望持续拓展。投资建议投资建议：我们认为，包括长江存储在内的存储器/代工厂将于 2019-20年陆续进入设备采购与搬入的高峰阶段，而国内设备厂商已经在多个核心设备细分领域实现拓展。重点推荐：北方华创、精测电子、长川科技、至纯科技；受益标的：中微公司（科创板）、盛美半导体（纳斯达克）。表表 1 1：重点推荐及受益标的公司盈利预测及估值重点推荐及受益标的公司盈利预测及估值 代码代码 名称名称 股价股价（2 2019.04.10019.04.10）每股收益每股收益 市盈率市盈率(X)(X)评级评级 20182018 2019E 2019E 2020E 2020E 20182018 2019E 2019E 2020E2020E 002371.SZ 北方华创 66.68 0.51 0.91 1.41 130.7 73.3 47.3 增持 300567.SZ 精测电子 80.90 1.8 2.56 3.63 44.9 31.6 22.3 增持 300604.SZ 长川科技 38.58 0.25 0.88 1.30 154.3 43.8 29.7 增持 603690.SH 至纯科技 21.10-0.63 0.87-33.5 24.3 增持 数据来源：数据来源：WINDWIND、国泰君安证券研究、国泰君安证券研究(其中精测电子、长川科技、至纯科技其中精测电子、长川科技、至纯科技 1 19 9-2020 年年 E EPSPS 来自国君机械团队预测，北方来自国君机械团队预测，北方华创华创 1 19 9-2020 年年 E EPSPS 来自国君电子团队预测来自国君电子团队预测)行业专题研究行业专题研究 请务必阅读正文之后的免责条款部分请务必阅读正文之后的免责条款部分 14 of 15 4.风险因素风险因素 4.1.技术开发风险技术开发风险 集成电路专用设备行业属于技术密集型行业，具有较高技术门槛。虽然各个公司拥有相关核心技术的自主知识产权，但与集成电路各细分设备领域国际知名企业相比仍存在一定差距，需要持续进行技术开发和创新。如果相关公司不能紧跟国内外技术发展趋势，或后续研发投入不足，将面临因无法保持持续创新能力而导致市场竞争力降低的风险。4.2.受行业景气影响的风险受行业景气影响的风险 集成电路专用设备行业与半导体行业发展密切相关。虽然随着近年来全球半导体产业逐渐步入成熟发展阶段，但整个行业发展过程中的波动，使相关公司面临一定程度的行业经营风险。行业专题研