西安工程大学学报JournalofXi’anPolytechnicUniversity第37卷第4期(总182期)2023年8月Vol.37,No.4(Sum.No.182)引文格式:王彦龙,张旭东,党步裕,等.不同溅射功率下CoCrFeNiCu高熵合金涂层的耐腐蚀及其抗氧化性能[J].西安工程大学学报,2023,37(4):48-55.WANGYanlong,ZHANGXudong,DANGBuyu,etal.CorrosionresistanceandoxidationresistanceofCoCrFeNiCuhighentropyalloycoatingspreparedwithdifferentsputteringpowers[J].JournalofXi’anPolytechnicUniversity,2023,37(4):48-55.收稿日期:2023-04-05修回日期:2023-04-27基金项目:陕西省自然科学基础研究计划(2023-JC-YB-476)通信作者:王彦龙(1974—),男,副教授,博士,研究方向为先进薄膜与涂层技术。E-mail:yanlongw@126.com不同溅射功率下CoCrFeNiCu高熵合金涂层的耐腐蚀及其抗氧化性能王彦龙,张旭东,党步裕,高淼,徐洁(西安工程大学材料工程学院/西安市纺织复合材料重点实验室,陕西西安710048)摘要为探究磁控溅射工艺参数对CoCrFeNiCu涂层的耐腐蚀及高温抗氧化性能的影响,在50、100、150、200W等不同溅射功率下采用直流磁控溅射技术制备CoCrFeNiCu高熵合金涂层。通过X射线衍射仪、扫描电镜和能谱分析以及电化学实验等检测涂层的相组成、显微组织以及耐腐蚀性能。通过循环氧化法测定涂层的高温氧化行为,分析其氧化动力学曲线和氧化层表面形貌,确定溅射功率对该涂层高温抗氧化性能的影响规律。结果表明:溅射功率50W制备的涂层为准非晶结构,耐腐蚀性较好,但随着溅射功率的升高,粗化的涂层晶粒使其耐蚀性能逐渐降低。经过800℃的空气氧化后,低功率制备的涂层的氧化动力学曲线随时间的变化基本呈线性增加,涂层氧化层存在大量气孔,削弱了其抗氧化性能。而较高功率制备的涂层的氧化动力学曲线呈抛物线变化,所形成的氧化层相对致密,可有效保护涂层。适当提高溅射功率可形成厚度较大、硬度较高的FCC结构涂层,可提高CoCrFeNiCu涂层的高温抗氧化性能。关键词CoCrFeNiCu高熵合金涂层;溅射功率;微观结构;显微硬度;耐腐蚀性开放科学(资源服务)标识码(OSID)中图分类号:TG174.444文献标志码:ADOI:10.13338/j.issn.1674-649x.2023.04.007CorrosionresistanceandoxidationresistanceofCoCrFeNiCuhighentropyalloycoatingspreparedwithdifferentsputteringpowersWANGYanlong,ZHANGXudong,DANGBuyu,GAOMiao,XUJie(SchoolofMaterialsScienceandEngineering/Xi’anKeyLaboratoryofTextileComposites,Xi’anPolytechnicUnive...
