第48卷第3期2023年6月广州化学GuangzhouChemistryVol.48No.3Jun.2023DOI:10.16560/j.cnki.gzhx.20230302___________________________________________收稿日期：2022-11-01基金项目：辽宁省教育厅项目（Inzd2019-05）作者简介：王瑶瑶（1997~），女，山东临沂人，硕士研究生，主要从事低辐射镀膜研究。*通信作者：时方晓（1968~），男，辽宁鞍山人，博士，教授，主要从事低辐射镀膜研究。（Ag,Ti）复合膜层的制备及光热性能研究王瑶瑶，时方晓*，曲汝丹，覃茜语（沈阳建筑大学，辽宁沈阳110000）摘要：采用普通钠钙玻璃作为基底材料，利用磁控溅射沉积系统制备出（Ag,Ti）复合膜，通过紫外-可见光分光光度计、自制隔热木箱对膜层透光隔热性能进行分析，采用SEM对复合膜表面形貌分析，并对复合膜进行应用于室外的耐酸碱腐蚀性测试。结果表明：Ag基膜层在溅射参数为Ag靶功率为75W、溅射时间为0.2min、氩气流量20sccm、溅射压强2.1Pa时具有最高的可见光透过率；（Ag,Ti）复合膜在不改变Ag溅射参数的情况下，Ti靶溅射功率为48W、溅射时间0.2min、氩气流量20sccm、溅射压强2.1Pa时具有较好的透光隔热性能，此时可见光透过率达到70%，隔热达到4.5℃，复合膜表面相对平整。关键词：（Ag,Ti）复合膜；Low-E玻璃；磁控溅射；透光性能；隔热性能中图分类号：TQ171.72PreparationandPhotothermalPropertiesof(Ag,Ti)CompositeFilmsWANGYao-yao,SHIFang-xiao*,QURu-dan,QINXi-yu（ShenyangJianzhuUniversity,Shenyang110000,China）Abstract:Usingordinarysodalimeglassasthebasematerial,(Ag,Ti)compositefilmswerepreparedbyusingamagnetronsputteringdepositionsystem.Thelighttransmissionandheatinsulationpropertiesofthefilmwereanalyzedbyultravioletvisiblespectrophotometerandself-madeheatinsulationwoodenbox.ThesurfacemorphologyofthecompositefilmwasanalyzedbySEM.Theacidandalkalicorrosionresistanceofthecompositefilmappliedoutdoorswastested.TheresultsshowthattheAgbasedfilmlayerhasthehighestvisiblelighttransmittancewhenthesputteringparametersareAgtargetpower75W,sputteringtime0.2min,argonflowrate20sccm,andsputteringpressure2.1Pa;(Ag,Ti)compositefilmhasgoodlighttransmissionandheatinsulationperformancewhenthesputteringpowerofTitargetis48W,thesputteringtimeis0.2min,theargonflowrateis20sccm,andthesputtering...
