2023年2月第31卷第1期河南冶金HENANMETALLURGYFeb.2023Vol.31No.1EBSD技术及其在金属材料中的研究应用梁梦斐李静宇刘艳红工牛晓慧（安阳钢铁集团有限责任公司）摘要电子背散射衍射技术（EBSD）作为分析材料晶体结构、物相分布、织构以及取向差的新型研究方法，通过介绍EBSD的系统构成以及基本原理，对比其与传统分析技术之间的优缺点，结合具体实例说明EBSD在金属材料中织构、取向和晶粒尺寸等方面的应用。关键词电子背散射衍射取向织构晶粒尺寸EBSDTECHNOLOGYANDITSRESEARCHANDAPPLICATIONINMETALMATERIALSLiangMengfeiLiJingyuLiuYanhongNiuXiaohui(AnyangIronandSteelGroupCorporation)ABSTRACTAsanewresearchmethodforanalyzingthecrystalstructure,phasedistribution,textureandorientationdifferenceofmaterials,EBSDtechnologyisintroducedinthispaper.ByintroducingthesystemstructureandbasicprincipleofEBSD,theadvantagesanddisadvantagesofEBSDandtraditionalanalysistechnologyarecompared,andtheapplicationofEBSDintexture,orientationandgrainsizeofmetalmaterialsisillustratedwithconcreteexamples.KEYWORDSElectronbackscatterdiffractionOrientationTextureGrainsize0引言在扫描电子显微镜（SEM）设备下，通过激发电子束，在样品表明形成衍射菊池带，该技术是电子背散射衍射（EBSD）技术。随后通过对菊池带分析来获取晶粒尺寸和分布、晶体结构取向、相成分、晶（相）界类型以及应力应变分布等相关信息-3]。1928年，日本科学家Kikuchi首次通过透射电子显微镜在云母薄膜中观察到了菊池花样。20世纪90年代，Adams等人设计出取向成像电子显微分析系统（OIM）用来获取晶体结构取向和织构等晶体学信息145]。2005年，Mulders等人将聚焦离子束原位切割技术（FIB）和EBSD系统相结合设计出一种双电子束的三维显微结构分析系统（3D-OIM），通过3D技术对晶体的三维形貌进行重新建模，使其结果更接近内部真实情况[。对比传统的晶体学分析方法，EBSD技术具备了制样方便快捷，分辨率高，获得的晶体学信息较完善等优点，很大程度上将显微组织和晶体学分析相联系、解决了获得单个晶粒取向、相界面信息等方面的问题，是材料领域对材料性能方面研究的强有力的实验工具。笔者通过介绍EBSD的系统构成以及基本原理，结合具体实例总结出EBSD技术在金属材料领域中织构、取向和晶粒尺寸等方面的应用以及研究进展。1EBSD技术1.1EBSD的发生原理菊池线产生...
