收稿日期:2022-11-08氙气中全杂质的分析方法研究刘汉兵1，万芳1，查玲1，韩曦1，杨艳1，程效明1，孙超2，郁光2，方华2(1．武汉钢铁集团气体有限责任公司，湖北武汉430083;2．上海华爱色谱分析技术有限公司，上海200940)摘要:建立了一种利用氦离子气相色谱仪检测氙气中全杂质的分析方法，通过色谱柱选择切换、反吹放空等技术，采用最佳色谱仪工作参数及阀切时间，解决了分离氧气和氩气，分离四氟化碳、六氟乙烷和六氟化硫的分析难点。结果表明，该分析方法大大提高了氙气中杂质的检测效率及准确度，能够检测氙气中10－9级微量杂质。关键词:氦离子气相色谱仪;高纯氙气;气相色谱法中图分类号:O613．15文献标志码:A文章编号:1007-7804(2023)01-0028-04doi:10.3969/j.issn.1007-7804.2023.01.009ＲesearchonAnalyticalMethodsofTotalImpuritiesinXenonLIUHanbing1，WANFang1，ZHALing1，HANXi1，YANGYan1，CHENGXiaoming1，SUNChao2，YUGuang2，FANGHua2(1．WiscoGasesCo．，Ltd．，Wuhan430083，China;2．ShanghaiHuaaiChromatographyAnalysisCo．，Ltd．，Shanghai200940，China)Abstract:Theanalyticalmethodfordetectingtotalimpuritiesinxenonbyusingheliumiongaschromatographwasestab-lished．Byusingtechnologiessuchascolumnselectionandswitching，backflushingandventing，andexploringtheoptimalworkingparametersofthechromatographandvalvecuttingtime，whichsolvedtheanalyticaldifficultyofseparatingoxygenandargon，carbontetrafluoride，hexafluoroethaneandsulfurhexafluoride．Theresultsshowthatthisanalysismethodgreatlyimprovesthedetectionefficiencyandaccuracyofxenon，andalsocandetect10－9gradetraceimpuritiesinxenon．Keywords:heliumiongaschromatograph;highpurityxenon;gaschromatographymethod1前言氙气(Xe)是地球大气中的一种微量气体，其含量＜0．0875×10－6。它在标准温度和压力下以无色、无味的单原子气体形式存在［1］。Xe作为一种具有化学惰性的稀有气体，其分离提纯成本高、难度大、获取量小，但却被广泛应用于多个行业，如电子芯片制造业、激光器、电子电器、光电源工业、医学、航空航天工业中的喷气推进剂等［2］。近年来，随着电子行业的不断发展，氙气逐步被应用于许多高端性的产品，因此行业对氙气纯度的要求也愈加严格。国家标准GB/T5828—2006《氙气》［3］中对氙气的技术指标及分析方法都有基本的...
