有机玻璃基底AZO/Ag/AZO复合薄膜的制备与性能徐清源,张运生*,陈琛,冯海兵,黄鹏,祖成奎（中国建筑材料科学研究总院有限公司,北京100024）摘要：采用低温磁控溅射技术在有机玻璃（聚甲基丙烯酸甲酯PMMA）表面制备铝掺杂氧化锌（AZO）叠层AZO/Ag/AZO透明导电薄膜，研究AZO溅射功率对AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响，探讨PMMA层合结构的耐湿热性和加温性能。通过扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射仪（XRD）表征薄膜的形貌和结构。结果表明：AZO的溅射功率影响了AZO层表面能以及薄膜的结晶度，在100W和150W溅射功率下制备出的AZO/Ag/AZO薄膜室温下具有3.7Ω/sq的低薄膜电阻和86.1%的高透光率，采用PMMA和聚氨酯胶片对薄膜进行层合封装，湿热30天后仍保持光学、电学性能稳定。PMMA层合结构在加温过程中的时间-温度曲线表明在5V直流电压下层合玻璃具有较快的温度响应时间和良好的温度均匀性。−10～−40℃空气对流中PMMA层合结构表现出良好的温度稳定性。关键词：PMMA；AZO/Ag/AZO；层合；耐湿热性；电加温doi：10.11868/j.issn.1005-5053.2022.000054中图分类号：TG146.3；TQ132.4文献标识码：A文章编号：1005-5053(2023)01-0087-11PreparationandpropertiesofAZO/Ag/AZOthinfilmsonPMMAsubstratesXUQingyuan,ZHANGYunsheng*,CHENChen,FENGHaibing,HUANGPeng,ZUChengkui（ChinaBuildingMaterialsAcademy,Beijing100024,China）Abstract:AZO/Ag/AZOtransparentconductivefilmswerepreparedonPMMAsubstratebyDCmagnetronsputteringatlowtemperature(70℃).TheeffectofAZOsputteringpoweronthestructureandpropertiesofAZO/Ag/AZOthinfilmswereinvestigated.InordertoencapsulateAZO/Ag/AZOfilms,thefilmswerelaminatedwithanotheruncoatedPMMAsubstrateandpolyurethanefilm.Dampandheatresistanceandheatingperformanceofthislaminatedstructurewerediscussed.ThemorphologyandstructureofthefilmswerecharacterizedbySEM,XRDandAFM.TheresultsshowthatthesputteringpowerofAZOaffectsthesurfaceenergyofAZOlayerandthecrystallizationofAZO/Ag/AZOfilms.TheAZO/Ag/AZOfilmswhichpreparedwithAZOsputteringpowerof100Wand150Wexhibitthebestperformancewithalowsheetresistanceof3.7Ω/sqandahightransmittanceof86.1%atroomtemperature.TheopticalandelectricalpropertiesofPMMAlaminatedstructureremainstableafter30daysofdamp-he...
