收稿日期:2022-11-20.*通信作者:李敏E-mail:limin_nuist@nuist.edu.cnMEMS和MOEMS技术专题DOI:10.16818/j.issn1001-5868.2022112001质量块-悬挂梁热弹性阻尼的L-R理论适用性李敏1,2*,刘骏康1,张加宏1,2,李慕白3(南京信息工程大学1.江苏省大气环境与装备技术协同创新中心;2.电子与信息工程学院;3.长望学院,南京210044)摘要:热弹性阻尼是谐振器中的一种基本能量耗散机制,决定了高Q谐振器的性能极限。检测质量块-悬挂支撑梁结构由于截面的变化,难以进行解析求解。已有研究表明,质量块刚性假设后,经典的L-R理论可以适用于该结构,然而该假设相对于实际器件所造成的计算误差却没有结论。针对这一问题,采用L-R理论计算与ANSYS有限元计算的对比分析方法,比较了在支撑梁和质量块尺度分别变化时的一阶固有频率和该频率下热弹性阻尼系数的计算误差,结果表明,L-R理论的计算误差较大,并不适用于质量块-悬挂支撑梁结构热弹性阻尼系数的精确计算,但可有效估计尺度变化后热弹性阻尼的变化趋势。关键词:质量块-悬挂支撑梁结构;高Q谐振器;热弹性阻尼;L-R理论中图分类号:TN402;O414文章编号:1001-5868(2022)06-1062-06ApplicabilityofL-RTheoryforThermoelasticDampingofMassSuspensionBeamStructureLIMin1,2,LIUJunkang1,ZHANGJiahong1,2,LIMubai3(1.JiangsuCollaborativeInnovationCenteronAtmosphericEnvironmentandEquipmentTechnology;2.SchoolofElectronicsandInformationEngineering;3.ChangwangSchoolofHonors,NanjingUniversityofInformationScienceandTechnology,Nanjing210044,CHN)Abstract:Thermoelasticdampingisabasicenergydissipationmechanismintheresonator,whichde...