中华人民共和国国家标准GB/T15909一1995电子工业用气体硅烷(SiH4)Gasforelectronicindustry-Silane1主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等分子式:SiH,相对分子质量:32.117(按1991年国际相对原子质量)。101.3kPa下的沸点:一112'C.20'C和101.3kPa下气体密度:1.342kg/m',一185C下液体密度:711kg/m'.2引用标准GB19。危险货物包装标志(;B/T3051无机化工产品中氯化物含量测定的通用方法汞量法GB/T5274气体分析校准用混和气体的制备称量法(;B/T5832.1气体中微量水分的测定电解法GB7144气瓶颜色标记3技术要求31质里指标硅烷的质量应符合下表的要求。对硅烷中重金属和颗粒的要求由供方与用户商定。项目指标纯度:10。)99一氧化碳和二氧化碳((一()+CO2),10-,(5氛化物总量(包括抓硅烷,HC)等可离子化的抓化物),10-(100烃(G-C,),10‘蕊40氢(H)10“成9000氮(N,).10“镇40氧(()),10‘簇5水(H,0),10‘成3国家技术监督局1995门2一20批准1996一08一01实施cs/T15909一1995注:①表中纯度及杂质含量均以序尔分数表示mol/mol②多晶硅或二氧化硅用途不规定氮含量。3.2电性能规格电阻率应大于100Sl"cm(N型)，电阻率的测定方式由供方与用户商定。4检验方法纯度硅烷的纯度用摩尔分数表示，按式(1)计算，对于多晶硅或二氧化硅用途，不计入X_s(氮含量)4.1式中:.:.，X=100一(X,+X2+X,+X,+X,+X‘十X7)X10-4X—硅烷纯度(摩尔分数),10-2;X—一氧化碳和二氧化碳(C0+C02)含量(摩尔分数),10-`;X2-氯化物总量(摩尔分数),10-1;X—烃(CI-C3)含量(摩尔分数),10一“;X,氢(H2)含量(摩尔分数),10-6;X,—氮(N2)含量(摩尔分数),10-`;X,-氧(02)含量(摩尔分数),10-s;X7—水(H2O)含量(摩尔分数),10-so一氧化碳和二氧化碳含量的测定仪器与方法采用带有热导检测器或氦离子化检验器的气相色谱仪，也可采用色质联用仪测定硅烷中的一氧化碳和二氧化碳。方法检测极限(摩尔分数):1X1。一。4.2.2操作条件色谱柱:内装P.W.Carbosphere，长约2.4m，内径约4mm不锈钢柱，或其他等效色谱柱。载气:高纯氦，流量约30mL/min,进样量:3-5mL,检测器温度:250'C.色谱柱程序升温曲线:初始温度:110,C，保持时间:4.50min;程序升温速率:5-C/min;终到温度:160'C，保持时间:6.00min,4.2.3标样:以氦气为底气，含一氧化碳和二氧化碳(摩尔分数)各为...
