中华人民共和国国家标准GB/T14601一93电子工业用气体高纯氨Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia1主题内容与适用范围本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式:NH,相对分子质量:17.031(按1989年国际相对原子质量)2弓!用标准GB19。危险货物包装标志GB5099钢质无缝气瓶GB5831气体中微量氧的测定比色法GB6285气体中微量氧的测定电化学法GB7144气瓶颜色标志GB7445氢气GB8980高纯氮GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB10625高纯氢中微量氮的测定电子迁移气相色谱法GB14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法3技术要求电子工业用气体高纯氨的质量应符合下表的技术要求。项目指标氨的纯度，10-1)氧含量,1。一‘<氮含量.1。一“<一氧化碳含量.1。~‘
