GBT 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南.pdf

GB/T36306一2018洁净室及相关受控环境空气化学污染控制指南1范围本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检侧、控制等指南。本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。本标雅不适用于核能和军事应用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T25915.8一2010洁净室及湘关受控环境第8部分：空气分子污染分级(1S014644-8:2006,IDT)3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1空气分子污染airbme molecular contamination;AMC以气态或蒸汽态存在于洁净室及相关受控环境中，可危害产品、工艺、设备的分子（化学的、非颗粒）物质。不包含生物大分子。注：空气分子污染即空气化学污染3.2环境反应监测法environmental response monitoring methods;ERMs综合监测腐蚀性气体对芯片的腐蚀程度的方法。注：将环境反应采样片(ERCs)放在各个待测区域，如新风机组的进川口，循环风机组进出口等，时间是以30天为一个周期，观察采样片厚度的变化，以A(Angstrom)为单位。3.3污染物contaminant能对流体的预期使用产生负面影响的物质（固体、液体和气体）。3.4气相空气净化装置gas phase air cleaner device;GPACD能去除特定的气体和蒸汽等气相污染物的组装设备。注：在木标准中即化学过滤器，化学过褪器属于气相空气净化装置的一种。3.5空气化学污染air chemical contamination气相的非颗粒物质，其化学性质对产品、生产工艺或设备产生不利的影响。