传感器与微系统（ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）２０２３年第４２卷第６期ＤＯＩ：１０．１３８７３／Ｊ．１０００—９７８７（２０２３）０６—０００８—０５基于二维材料的气体传感器研究进展朱成龙１，周杨１，吴科２，张然然１，李丽丽１，汶飞１（１．杭州电子科技大学电子信息学院，浙江杭州３１００１８；２．西安微电子技术研究所，陕西西安７１００６８）摘要：二维材料具有比表面积大、物理、化学性能优异、可在室温下工作等特点，已在气体传感器领域得到了广泛应用。根据二维材料的分类，系统阐述石墨烯、过渡金属二卤代物（ＴＭＤｓ）、ＭＸｅｎｅｓ及其复合材料在气体传感器领域的研究现状，指出存在的问题与最新的突破，并展望二维材料的发展前景和挑战。关键词：二维材料；气体传感器；气敏响应；复合材料中图分类号：ＴＰ２１２．２文献标识码：Ａ文章编号：１０００—９７８７（２０２３）０６—０００８—０５ＲｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｏｆｇａｓｓｅｎｓｏｒｂａｓｅｄｏｎｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍａｔｅｒｉａｌｓＺＨＵＣｈｅｎｇｌｏｎｇ１，ＺＨＯＵＹａｎｇ１，ＷＵＫｅ２，ＺＨＡＮＧＲａｎｒａｎ１，ＬＩＬｉｌｉ１，ＷＥＮＦｅｉ１（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ＨａｎｇｚｈｏｕＤｉａｎｚｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００１８，Ｃｈｉｎａ；２．ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＸｉ’ａｎ，Ｘｉ’ａｎ７１００６８，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍａｔｅｒｉａｌｓｈａｖｅｂｅｅｎｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｉｎｔｈｅｆｉｅｌｄｏｆｇａｓｓｅｎｓｏｒｓｂｅｃａｕｓｅｏｆｔｈｅｉｒｌａｒｇｅｓｐｅｃｉｆｉｃｓｕｒｆａｃｅａｒｅａ，ｅｘｃｅｌｌｅｎｔｐｈｙｓｉｃａｌａｎｄｃｈｅｍｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｎｄａｂｉｌｉｔｙｔｏｗｏｒｋａｔｒｏｏｍｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ．Ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎｏｆｔｗｏｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｍａｔｅｒｉａｌｓ，ｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｓｔａｔｕｓｏｆｇｒａｐｈｅｎｅ，ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｍｅｔａｌｄｉｈａｌｏｇｅｎａｔｅｓ（ＴＭＤｓ），ＭＸｅｎｅｓａｎｄｔｈｅｉｒｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓｉｎ...
