传感器与微系统（ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）２０２３年第４２卷第６期ＤＯＩ：１０．１３８７３／Ｊ．１０００—９７８７（２０２３）０６—０１１６—０４基于剪切波变换的光学元件表面缺陷检测方法张传博１，李林福１，陈建军２，徐艳丽１（１．贵州民族大学物理与机电工程学院，贵州，贵阳５５００２５；２．新疆医科大学医学工程技术学院，新疆乌鲁木齐８３００１１）摘要：针对精密光学元件表面划痕缺陷形态大小随机分布，难于检测的问题，提出了一种基于非下采样剪切波变换（ＮＳＳＴ）和Ｌ０梯度最小化（ＬＧＭ）的精密光学元件表面缺陷检测的方法。首先，采用ＮＳＳＴ将被测元件表面数据分解为不同尺度、不同方向的子块；然后，在子块上基于自适应阈值使用ＬＧＭ分离被测表面的纹理；最后，重构变换域子块，实现元件表面缺陷的检测。实验结果表明：对包含２５６×２５６数据点的表面，特征分离仅需要０．７８６２ｓ，满足元件的自动化处理的时间要求。与小波等方法相比，该方法能更准确地分离器件表面的纹理与缺陷，在光学元件表面缺陷检测方面效果更优。关键词：缺陷检测；特征提取；非下采样剪切波变换；Ｌ０梯度最小化中图分类号：ＴＰ３９１．４１；ＴＧ８４文献标识码：Ａ文章编号：１０００—９７８７（２０２３）０６—０１１６—０４ＳｕｒｆａｃｅｄｅｆｅｃｔｄｅｔｅｃｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｏｆｏｐｔｉｃａｌｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓｂａｓｅｄｏｎｓｈｅａｒｌｅｔｔｒａｎｓｆｏｒｍａｔｉｏｎＺＨＡＮＧＣｈｕａｎｂｏ１，ＬＩＬｉｎｆｕ１，ＣＨＥＮＪｉａｎｊｕｎ２，ＸＵＹａｎｌｉ１（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＰｈｙｓｉｃｓａｎｄＭｅｃｈａｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＧｕｉｚｈｏｕＭｉｎｚｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｇｕｉｙａｎｇ５５００２５，Ｃｈｉｎａ；２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｄｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＸｉｎｊｉａｎｇＭｅｄｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｕｒｕｍｑｉ８３００１１，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｔｈａｔｔｈｅｓｈａｐｅａｎｄｓｉｚｅｏｆｓｃｒａｔｃｈｄｅｆｅｃｔｓｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｐｔｉｃａｌｅｌｅｍｅｎｔｓａｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄｒａｎｄｏｍｌｙａｎｄｄｉｆｆｉｃｕｌｔｔｏｄｅｔｅｃｔ...
