第44卷第6期2023年6月Vol.44No.6June,2023发光学报CHINESEJOURNALOFLUMINESCENCE基于原子层沉积的量子点色彩转换膜封装严银菓1，蔡俊虎1，周小健1，陈恩果1，2*，徐胜1，2，叶芸1，2，郭太良1，2（1.福州大学物理与信息工程学院，平板显示技术国家地方联合工程实验室，福建福州350108；2.中国福建光电信息科学与技术创新实验室（闽都创新实验室），福建福州350108）摘要：量子点色转换是实现新型显示器件全彩化和提升显示色域的一种有效策略，但量子点环境稳定性差限制了其应用和发展。本文基于具有自限制表面反应特性的原子层沉积工艺，探索了在量子点色彩转换膜上原位生长致密的氧化铝封装膜，该封装方法将具有高光透过率、高致密的材料与贴合紧密的工艺有效结合。仿真结果表明，氧化铝封装的量子点色彩转换膜的出光强度达到了未封装的94.9%。并且，实验结果也表明，氧化铝封装基板的光透过率是空白基板的96.4%，而且封装后的量子点色彩转换膜在高温高湿（85℃，85%RH）环境中工作240h后，光转换效率仍然保持初始的60.8%，比未封装的光转换效率（11.43%）提升了63.9%。该封装方法实现了在量子点色彩转换膜出光强度不受影响的同时，有效提升量子点色彩转换膜的稳定性，为量子点色彩转换膜的稳定性提升提供了一条可行思路，同时扩展了原子层沉积工艺在光电显示领域的应用，具有重要的科学意义和应用前景。关键词：氧化铝；原子层沉积；量子点色彩转换膜；光透过率；稳定性。中图分类号：O484.5文献标识码：ADOI：10.37188/CJL.20230012EncapsulationofQuantum-dotColorConversionFilmsBasedonAtomicLayerDepositionYANYinguo1，CAIJunhu1，ZHOUXiaojian1，CHENEnguo1，2*，XUSheng1，2，YEYun1，2，GUOTailiang1，2（1.National-LocalUnitedEngineeringLaboratoryofFlatPanelDisplayTechnology，CollegeofPhysicsandInformationEngineering，FuzhouUniversity，Fuzhou350108，China；2.FujianScience＆TechnologyInnovationLaboratoryforOptoelectronicInformationofChina（MinduInnovationLaboratory），Fuzhou350108，China）*CorrespondingAuthor，E-mail：ceg@fzu.edu.cnAbstract：Quantumdotcolorconversion（QDCC）isaneffectivestrategytorealizethefullcolorofnewdisplayde⁃vicesandimprovethedisplaycolorgamut，butthepoorenvironmentalstabilityofQDlimitsitsapplicationanddevel⁃opment.Basedontheatomiclayerdeposition（ALD）proce...
