第59卷第9期2023年5月机械工程学报JOURNALOFMECHANICALENGINEERINGVol.59No.9May2023DOI：10.3901/JME.2023.09.230电场驱动喷射沉积微纳3D打印及其在先进电路和电子制造中的应用*兰红波1李红珂1钱垒2张广明1于志浩1孙鹏1许权1赵佳伟1王飞1朱晓阳1(1.青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心青岛266520；2.香港理工大学工业与系统工程系香港999077)摘要：微纳3D打印是近年出现的一种颠覆性新技术，经过10多年的迅猛发展，国内外学者已经提出10多种微纳3D打印工艺，但现有微纳3D打印大都面临打印材料和基材的普适性和兼容性差、大面积宏/微跨尺度结构制造困难、生产成本高，尤其是还存在成形效率(尺寸)和打印精度相矛盾的挑战性难题。经过近10年的研究与技术攻关，提出并建立了一种电场驱动喷射沉积微纳3D打印新技术，围绕该技术在基础理论、数值模拟、关键技术和装备、打印材料、实验研究和工艺优化、工程应用等方面开展了较为系统和深入研究。主要综述了电场驱动喷射沉积微纳3D打印基本原理和近年取得重要进展，尤其是系统介绍了该技术在先进电路和电子制造中的典型应用，旨在为先进电路和电子的制造提供了一种低成本、普适性好的具有工业化应用前景的全新解决方案。关键词：微纳尺度3D打印；电场驱动喷射沉积；微纳增材制造；先进电路；电子制造中图分类号：TG156Electric-field-drivenJetDepositionMicro-nano3DPrintingandItsApplicationsinManufacturingAdvancedCircuitsandElectronicsLANHongbo1LIHongke1QIANLei2ZHANGGuangming1YUZhihao1SUNPeng1XUQuan1ZHAOJiawei1WANGFei1ZHUXiaoyang1(1.ShandongEngineeringResearchCenterforAdditiveManufacturing,QingdaoUniversityofTechnology,Qingdao266520;2.DepartmentofIndustrial&SystemsEngineering,TheHongKongPolytechnicUniversity,HongKong999077)Abstract：Micro-nano3Dprintingisadisruptivenewtechnologythathasemergedinrecentyears.Morethanadozenmicro-nano3Dprintingprocesseshavebeenproposedafternearlytenyearsofrapiddevelopment.However,mostoftheexistingmicro-nano3Dprintingtechnologiesfaceaseriesofchallenges,suchaspooruniversalityandcompatibilityofprintingmaterialsandsubstrates,difficultiesinmanufacturinglargeareamacro/microcross-scalestructures,highproductioncosts,andespeciallythechallengingproblemofconflictingformingefficiency(size)andprint...
