基于开口谐振环结构的介电常数测量传感器研究_王琨.pdfVIP免费

第３６卷第５期２０２３年５月传感技术学报ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＥＮＳＯＲＳＡＮＤＡＣＴＵＡＴＯＲＳＶｏｌ.３６Ｎｏ.５Ｍａｙ２０２３项目来源：国家重点研发资助项目（２０１８ＹＦＣ２００１００２）收稿日期：２０２２－０４－２５修改日期：２０２２－０７－１５ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＰｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＳｅｎｓｏｒＢａｓｅｄｏｎＳｐｌｉｔ⁃ＲｉｎｇＲｅｓｏｎａｔｏｒＳｔｒｕｃｔｕｒｅ∗ＷＡＮＧＫｕｎ１，２，ＺＨＯＵＨｏｎｇｊｕｎ１∗，ＴＡＮＧＨｕａｊｉｅ２，ＪＵＺｉｈｅｎｇ２，ＮＩＥＺｅｄｏｎｇ２（１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＷｕｈａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＷｕｈａｎＨｕｂｅｉ４３００８１，Ｃｈｉｎａ；２．ＳｈｅｎｚｈｅｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｄｖａｎｃｅｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＣｈｉｎａＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，ＳｈｅｎｚｈｅｎＧｕａｎｇｄｏｎｇ５１８０５２，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｄｕａｌ⁃ｐｏｒｔｓｅｎｓｏｒｓａｒｅｏｆｔｅｎｕｓｅｄｆｏｒｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙｏｆｓｏｌｉｄｍａｔｅｒｉａｌｓ，ｂｕｔｔｈｅｓｅｎｓｏｒｓｉｚｅｉｓｌａｒｇｅ．Ｔｏａｄ⁃ｄｒｅｓｓｔｈｉｓｐｒｏｂｌｅｍ，ａｓｉｎｇｌｅ⁃ｐｏｒｔｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃＲＦｓｅｎｓｏｒｗｉｔｈａｓｉｚｅｏｆｏｎｌｙ３０ｍｍ×４０ｍｍｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄ．ＴｈｅＲＦｓｅｎｓｏｒａｄｏｐｔｓｓｐｌｉｔ⁃ｒｉｎｇｒｅｓｏｎａｔｏｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ａｎｄＦＲ４ｍａｔｅｒｉａｌｗｉｔｈｔｈｅｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙｏｆ４．４ｉｓｓｅｌｅｃｔｅｄａｓｔｈｅｓｅｎｓｏｒｓｕｂｓｔｒａｔｅ，ｔｈｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆｗｈｉｃｈｉｓ１ｍｍ．Ｆｉｒｓｔｌｙ，ｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｄｅｓｉｇｎａｕｔｏｍａｔｉｏｎｓｏｆｔｗａｒｅｔｈｅＡＤＳｉｓｕｓｅｄｔｏｄｅｓｉｇｎｔｈｅｓｅｎｓｏｒａｎｄｓｉｍｕｌａｔｅｔｈｅｓｅｎｓｏｒｌｏａｄｅｄｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｄｉｅ⁃ｌｅｃｔｒｉｃｃｏｎｓｔａｎｔｍｏｄｅｌｓｔｏｏｂｔａｉｎｔｈｅｒｅｔｕｒｎｌｏｓｓｏｆＳ１１ｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙ．Ｓｕ...