硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 YST 1060-2015.pdf

YS/T1060-2015硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法1范围本标准规定了硅外延用三氣氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的气相色谱测定方法，本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他点硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。2方法提要三氯氢硅样品在惰性气体（氨气或氩气）保护下注入气相色谱仪，各组分经色谱柱分高后，用热导池检测器检测，用峰面积归一化法计算。3试剂3.1载气氢气，体积分数99.999%。3.2惰性气体，体积分数99.999%。4仪器4.1气相色谱仪：配有热导池检测器(TCD)和相应的色谱工作站，检测限为0.001%。4.2色谱柱：不锈钢填充柱，固定液为25%DC-550,规格为b3mm2.5m,或其他等效色谱柱。4.3微量注射器：10L。5干扰因素5.1样品宜置于冰箱中冷冻保存，防止样品挥发损失。5.2室内湿度应控制在40%以下，防止环境湿度对样品的影响。5.3惰性气体操作箱内的空气应用干燥高纯惰性气体（如氨气）置换干净：否则样品水解，影响测试结果。6分析步骤警告：移取三氯氢硅样品时，要防止样品泄露。建议在惰性气体保护下转移样品，并佩戴好防护用品。6.1准备按照仪器操作规程开启气相色谱仪，并设定仪器工作参数，待基线平稳后开始进样分析。