硅片包装 YST 28-2015.pdf

YS/T28-2015硅片包装1范团本标准规定了硅片的包装。本标准适用于硅单品抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片（简称硅研磨片）包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T12964硅单品抛光片GB/T12965硅单品切割片和研磨片GB/T14139硅外延片GB/T14264半导体材料术语GB/T26071太阳能电池用硅单品切割片GB/T29055太阳电池用多品硅片GB/T29506300mm硅单晶抛光片GB50073洁净厂房设计规范3术语和定义GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1洁净包装clean package用专用的运输片盒对抛光片、外延片、SOI等品片进行包装，使其在运输、贮存过程中避免颗粒、金属及有机物等对片盒中品片的沾污。3.2结合胶带seam tape有黏附层的胶带，用于密封品片盒的座和盖之间的接口。3.3片盒wafer box由一个盒座和一个盒盖组成的封闭容器，其中带有装载品片的片蓝，一起组成一套品片片盒。用于贮存和运输品片。3.4内包装袋inner wrap封装专用片盒的内层包装袋，通常采用洁净的塑料袋。3.5外包装袋outer wrap将已封装内包装袋的专用片盒再次封装用的外层包装袋，通常采用防潮、防静电的铝箔袋。YS/T28-20154.2硅研磨片包装干扰因素4.2.1包装硅研磨片用的包装纸、隔纸应尽可能成少纸屑或纤维的析出，防止粘在硅片表面形成二次沾污。4.2.2包装盒的大小应适中，一般比硅片直径大0.2mm0.5mm为宜。过小则容易在包装过程中压碎硅片，过大则容易在后续运输过程中使硅片晃动，造成碎片。4.23包装盒应紧实致密，否则容易析出包装材料的细小颗粒，黏附在硅片表面，形成二次沾污。4.2.4包装时，过高的环境湿度可能会造成硅片表面形成一层水雾，再次打开后易吸附环境中的尘埃，形成二次沾污，推荐在湿度70%以下的环境中包装。4.2.5包装时环境的空气洁净度也会给硅片表面带来影响，推荐在国标5级以上的洁净室进行。4.2.6硅片在运输过程中应注意成震、防潮，装卸时不得抛扔。4.3太阳能电池用硅片包装干扰因素4.31包装太阳能硅片用的隔纸或隔板应尽可能诚少纸屑或纤维的析出，防止黏在硅片表面形成二次沾污。432级冲材料或包装盒的尺寸应在规定范围内。过小则容易在包装过程中压碎硅片，过大则容易在后续运输过程中使硅片晃动，造成碎片。4.33包装后应检查硅片四边是否整齐、不滑动，避免凹凸不平，造成缺角等，如有异常应重新进行包装，4.3.4填充材料时应保证硅片没有晃动现象。4.3.5包装时，过高的环境湿度可能会造成硅片或包装材料表面形成一层水雾，再次打开后易吸附环境中的尘埃，形成二次沾污，推荐在湿度70%以下的环境中包装。4.3.6包装时环境的空气洁净度也会给硅片表面带来影响，推荐在国标6级以上的洁净室进行。4.3.7硅片在运输过程中应注意诚震、防潮，装卸时不得抛扔。5包装5.1包装环境硅片的包装环境应符合表1的规定，其中空气洁净度等级应符合GB50073的规定。表1包装环境要求项目洁净包装硅研要片包裴太阳能硅片包装空气洁净度等级2级5级6级温度/202620-261630相对湿度30%60%70%70%5.2包装材料5.2.1洁净包装需要的包装材料有：聚氯乙烯密封片盒、结合胶带、内包装袋、外包装袋、外包装箱等。5.2.2硅研磨片包装需要的包装材料有：泡沫盒、洁净包装纸或洁净塑料袋、泡沫塞垫、外包装箱、包装带等。3