第41卷第3期Vol.41No.3材料科学与工程学报JournalofMaterialsScience&Engineering总第203期Jun.2023文章编号:1673-2812(2023)03-0347-07复配表面活性剂对氧化锌单晶衬底后清洗效果的影响鲍冬赟,潘新花,王宁,黄靖云,叶志镇(浙江大学材料科学与工程学院,浙江杭州310027)【摘要】在ZnO单晶衬底的制造加工过程中,不可避免会引入二氧化硅磨料粒子、有机物等污染物,这会严重影响衬底上所生长薄膜的质量,从而影响半导体器件的性能和可靠性,因此后清洗工艺对外延薄膜的质量至关重要。本研究采用控制变量法研究了复配表面活性剂O-20和JFC的质量比及总质量对超声法后清洗效果的影响。研究发现,复配表面活性剂较单一表面活性剂对衬底表面污染的去除效果更好;不同质量比的复配表面活性剂的清洗效果不同,当O-20和JFC的质量比为2∶1时,对衬底表面污染的去除效果最好;当O-20和JFC的质量比固定为2∶1,增加复配表面活性剂的总质量,对衬底表面污染的去除效果更好;但当总质量增加到一定程度后,清洗效果不再提升,反而会增加表面活性剂的清除难度。【关键词】复配表面活性剂;ZnO单晶衬底;后清洗;SiO2颗粒中图分类号:TB43文献标志码:ADOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2023.03.001EffectofMixedSurfactantsonPostCleaningZnOSingleCrystalSubstratesBAODongyun,PANXinhua,WANGNing,HUANGJingyun,YEZhizhen(SchoolofMaterialsScienceandEngineering,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China)【Abstract】InthemanufacturingprocessofZnOsinglecrystalsubstrates,thecontaminationonthesubstrateisinevitable,includingsilicaabrasiveparticles,organicmatterandotherpollutants,whichwillseriouslyaffectthequalityofthefilmgrowthonthesubstrate,thusaffectingtheperformanceandreliabilityofsemiconductordevices.Therefore,thepost-cleaningprocessiscrucialtothequalityofepitaxialfilms.Inthiswork,westudiedtheinfluenceofthemassratioandtotalmassofmixedsurfactantsO-20andJFContheultrasonicpostcleaningprocessbythecontrolvariablemethod.Itisfoundthatthemixedsurfactantsshowbetterperformanceinremovingsurfacecontaminationthanthesinglesurfactant.Thecleaningeffectofmixedsurfactantsvarieswithdifferentmassratios.WhenthemassratioofO-20toJFCis2∶1,theremovaleffectofsurfacepollutionsisthebest.WhenthemassratioofO-20toJFCisfixedat2∶1,incre...
