溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 YST 837-2012.pdf

YS/T837-2012溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法1范围本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软纤焊、硬纤焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于木文件。GB5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件GB/T9445无损检测人员资格鉴定与认证GB/T11259无损检测超声检测用钢参考试块的制作与检验方法GB/T12604.1无损检测术语超声检测GB/T17421.1机床检验通则第1部分：在无负荷或精加工条件下机床的几何精度GB/T17421.2机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定GB/T18400.6加工中心检验条件第6部分：进给率、速度和插补精度检验GB/T18694无损检测超声检验探头及其声场的表征GB/T18852无损检测超声检验测量接触探头声束特性的参考试块和方法GJB1580A变形金属超声检验方法GB9712A无损检测人员资格鉴定与认证JB/T8771.4加工中心检验条件第4部分：线性和回转轴线的定位精度和重复定位精度检验JB/T9269工业控制计算机系统安装环境条件3术语和定义GB/T12604.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1超声波ultrasonic wave频率超过人耳可听范围的声波，此频率的下限一股取为20kHz。3.2纵波longitudinal wave压缩波compressional wave在介质中传播时，介质质点的振动方向与波传播方向平行的声波波型。3.3探头proe(search unit)电-声转换器件，通常由一个或多个用以发射或接收或既发射又接收超声波的换能器组成，YS/T837-20123.4焦距focal length聚焦探头从焦点到声源的距离，3.5增益gain对元器件、电路、设备或系统，其电流、电压或功率增加的程度。通常以分贝(B)数来规定。3.6闸门gate时间闸门time gate用电子学方法选择时基线的一段，以监视其中的信号或做进一步处理。3.7平底孔flat bottom hole(FBH)圆盘缺陷disc flaw圆盘形反射体disc shaped reflector平面的圆盘形反射体。3.8对比试块reference block与受检件或材料化学成分相似，含有意义明确参考反射休的试块。用以调节超声检验设备的幅度和（或）时间分度，以将所检出的不连续信号与已知反射体所产生的信号相比较。3.9C扫描显示C-scan display./presentation受检件的二维平面显示，按探头扫描位置，绘制幅度或声程在预置范用内的回波信号的存在。4一般要求4.1人员从事溅射靶材-背板结合质量超声C扫描检验的人员必须符合GB/T9445或GJB9712A的相关资质要求，并具有一定水浸超声C扫拊工作经验。4.2待检验工件4.2.1溅射靶材-背板的结合方式为平面结合，且靶材或者背板至少有一个平面与结合面平行，以便做为超声检验的检测面。4.2.2检测面的表面粗挞度Ra值不大于3.2m。4.2.3在开始检验前，被检验工件应进行一次预清洗，确保在检验过程中，入射面和背面没有氧化皮、机加工或者研磨产生的颗粒或者其他异物。4.2.4本标准规定的方法是非破坏性的，若靶材组件浸入耦合剂中会降低其品质，例如多孔的靶材材料，此时检验被视为是被坏性的，需对靶材进行保护处理后再采用本标准。5检验设备超声C扫描检验系统至少包括：工业计算机系统、超声探伤仪、显示设备、探头、扫查装置和耦合剂。