表面技术第52卷第6期·208·SURFACETECHNOLOGY2023年6月收稿日期：2022–05–09；修订日期：2022–10–26Received：2022-05-09；Revised：2022-10-26基金项目：国家自然科学基金（52075102，52175385）；NSFC–广东省联合基金（U1801259）；佛山市科技创新团队专项（2018IT100242）Fund：NationalNaturalScienceFoundationofChina(52075102,52175385);NSFC-GuangdongProvinceUnionFund(U1801259);FoshanScienceandTechnologyInnovationProjectofChina(2018IT100242)作者简介：严杰文（1980—），男，博士，高级工程师，主要研究方向为超精密加工及检测技术。Biography：YANJie-wen(1980-),Male,Doctor,Seniorengineer,Researchfocus:ultraprecisionmachiningandtestingtechnology.通讯作者：阎秋生（1962—），男，博士，教授，主要研究方向为超精密加工技术及装备。Correspondingauthor：YANQiu-sheng(1962-),Male,Doctor,Professor,Researchfocus:ultraprecisionmachiningtechnologyandequipment.引文格式：严杰文,阎秋生,潘继生.GaN晶片电化学腐蚀表面摩擦磨损特性[J].表面技术,2023,52(6):208-222.YANJie-wen,YANQiu-sheng,PANJi-sheng.FrictionandWearCharacteristicsofElectrochemicallyCorrodedSurfacesofGaNWafers[J].SurfaceTechnology,2023,52(6):208-222.GaN晶片电化学腐蚀表面摩擦磨损特性严杰文1,2，阎秋生1，潘继生1（1.广东工业大学机电工程学院，广州510006；2.广州计量检测技术研究院，广州510663）摘要：目的研究GaN晶片腐蚀表面的摩擦磨损行为，分析电化学腐蚀条件及介质环境对摩擦磨损行为的影响。方法对不同条件电化学腐蚀后的GaN晶片表面进行摩擦磨损实验，通过腐蚀表面的摩擦磨损行为分析电解质溶液（NaOH\Na2S2O8\H3PO4）和腐蚀电位对GaN晶片腐蚀效果的影响，以及腐蚀表面材料的磨损去除特性。结果水介质的润滑作用能有效保持摩擦因数曲线的平稳；不同电解质溶液电化学腐蚀的GaN晶片表面摩擦磨损存在明显差异，摩擦磨损区域沟槽尺寸和磨损率的顺序为NaOH>Na2S2O8>H3PO4；腐蚀电位磨损实验结果表明，腐蚀电位越高，摩擦因数越大，磨损率越大，磨损沟槽表面缺陷越多；通过电化学工作站，测试分析了极化曲线，得到电化学腐蚀速率顺序为NaOH>Na2S2O8>H3PO4，与材料去除磨损率规律一致。结论摩擦表面的磨损特性表明，腐蚀表面摩擦磨损率越大，磨损区域的缺陷越多，对应的电化学腐蚀速率越快，表面腐蚀作用越强，在磨损过程中材...
