第４０卷第３期２０２３年６月吉林建筑大学学报ＪｏｕｒｎａｌｏｆＪｉｌｉｎＪｉａｎｚｈｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＶｏｌ．４０Ｎｏ．３Ｊｕｎ．２０２３收稿日期：２０２２－０３－０８．基金项目：吉林省科技厅科技发展计划项目（２０１９０３０３１１４ＳＦ）；吉林省教育厅“十三五“科学计划项目（ＪＪＫＨ２０２００２７６ＫＪ）．作者简介：王森（１９９８～），男，河南省安阳市人，硕士研究生．∗通信作者：高晓红，女，吉林省长春市人，副教授，硕士．Ｅ－ｍａｉｌ：４２４７９４４５＠ｑｑ．ｃｏｍＡＧＺＯ薄膜晶体管的制备及其光电特性王森，高晓红∗，孙玉轩，张悦，王晗吉林建筑大学电气与计算机学院，长春１３０１１８摘要：通过磁控共溅射的方法在热氧化ＳｉＯ２衬底上沉积了铝镓共掺杂氧化锌（ＡＧＺＯ）薄膜，并且制备了底栅型结构的ＡＧＺＯ薄膜晶体管（ＡＧＺＯＴＦＴｓ），分析不同Ａｌ靶材溅射功率对薄膜的表面形貌、粗糙度以及透射率和光学带隙的影响，研究ＡＧＺＯＴＦＴｓ的电学性能和紫外探测性能．实验结果表明，ＡＧＺＯ薄膜在可见光区域平均透过率均超过９５％，并且可以通过控制Ａｌ靶材的溅射功率调控薄膜的光学带隙．当Ａｌ靶材溅射功率为２０Ｗ时，制备所得的ＡＧＺＯＴＦＴｓ的电学性能最优，其阈值电压为０．９６Ｖ，电流开关比达到了２．３×１０７．同时，ＡＧＺＯＴＦＴｓ的光电性能也较为优良，在３６５ｎｍ的紫外光照射下，其响应度为１０５．９Ａ／Ｗ，光暗电流比为７．７×１０５，探测度为１．４６×１０１２Ｊｏｎｅｓ．关键词：ＡＧＺＯ薄膜；ＡＧＺＯＴＦＴｓ；紫外探测；响应度中图分类号：ＴＢ３８３文献标志码：Ａ文章编号：２０９５－８９１９（２０２３）０３－００７５－０９ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＡＧＺＯｔｈｉｎ－ｆｉｌｍｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｓＷＡＮＧＳｅｎ,ＧＡＯＸｉａｏ－ｈｏｎｇ∗,ＳＵＮＹｕ－ｘｕａｎ,ＺＨＡＮＧＹｕｅ,ＷＡＮＧＨａｎＳｃｈｏｏｌｏｆｅｌｅｃｔｒｉｃａｌａｎｄｃｏｍｐｕｔｅｒｓｃｉｅｎｃｅ，ＪｉｌｉｎＪｉａｎｚｈｕｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３０１１８，ＣｈｉｎａＡｂｓｔｒａｃｔ:Ｉｎｔｈｉｓｔｈｅｓｉｓ,ａｌｕｍｉｎｕｍｇａｌｌｉｕｍｄｏｐｅｄｚｉｎｃｏｘｉｄｅ(ＡＧＺＯ)ｔｈｉｎｆｉｌｍｓｗｅｒｅｄｅｐｏｓｉｔｅｄｏｎｔｈｅｒｍａｌｌｙｏｘｉｄｉｚｅ...
