钒蒸发料 YST 1142-2016.pdf

YS/T1142-2016钒蒸发料1范围本标准规定了钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钒蒸发料。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划3要求3.1产品分类3.1.1产品按照纯度分为1C-V99.9、1C-V99.95两个牌号。3.1.2产品主要分为片状和柱状，如图1所示。)片状b)柱状说明：A一边长：B边长，C一厚度：D一直径，L一长度，图1钒蒸发料示意图3.2化学成分产品的化学成分要求见表1。产品中钒的含量按照成量法计算，即100%减去表中规定的杂质实则总和而得。需方对某种特定杂质元素含量有要求时，由供需双方协商执行。