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铂钌合金薄膜测试方法
X射线光电子能谱法测定合金态铂及合金态钌含量
YST
644-2007
合金
薄膜
测试
方法
射线
光电子
能谱法
测定
含量
644
2007
YS/T644-2007前言本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口。本标准由昆明贵金属研究所负贵起草。本标淮主要起草人:杨滨、李旸、杨喜昆、昝林寒。本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。本标准首次发布。YS/T644-20076分析结果计算6.1按公式(1)计算试样中待测金属合金态原子占该金属全部原子的原子百分数。L/S(L/S)(1)式中:c待测金属合金态原子占该金属全部原子的原子百分数;I经拟合形成的待测合金态原子的谱峰面积;S待测合金态元素的相对灵敏度因子;I经拟合形成的某一谱峰的峰面积;S经拟合形成的某一谱峰所对应元素的相对灵敏度因子;x待测金属;能谱图经拟合形成的各谱峰。6.2按公式(2)计算待测金属合金态原子占试样中全部金属的原子百分数:c(x)=ccX(2)式中:c(x)待测金属合金态原子占试样中全部金属的原子百分数;c待测金属合金态原子占该金属全部原子的原子百分数;待测金属原子占试样中全部金属的原子百分数(由XPS仪器直接标出);x待测金属。6.3按公式(3)计算试样中待测合金态金属的质量分数:w(x)=c(x)X(3)(pX)式中:w(x)试样中待测合金态金属的质量分数;c(x)待测金属合金态原子占试样中全部金属的原子百分数;p待测金属的密度,单位为克每立方厘米(g/cm3);r待测金属的原子半径,单位为厘米(cm);试样中所含各金属的密度,单位为克每立方厘米(g/cm3);r试样中所含各金属的原子半径,单位为厘米(cm);x待测金属;j试样中所含的各金属。6.4计算结果保留到小数点后两位。6.5每个试样任取三个不同部位进行分析,取算术平均值作为分析结果。7允许差实验室间分析结果的差值应不大于1.5%。8试验报告试验报告应包括如下内容:2