49材料与技术Material&Technology2023NO.03基金项目：重庆市自然科学基金博士后基金项目（cstc2019jcyj-bshX0070）；重庆市勘察设计行业创新研究与能力建设项目（勘设创研2019-12）；九龙坡区科技局基础研究与成果转化项目（2020-02-007-Y）；九龙坡区科技局技术创新与产业应用项目（2020-01-001-Y）。引文检索：谭潜，胡艳飞，罗小峰，等.精密工程拟建场地微振动响应测试与评价[J].重庆建筑，2023（3）：49-52.精密工程拟建场地微振动响应测试与评价谭潜1，2，胡艳飞1，罗小峰1，牟阳1，詹华1，孙小华1，魏伏佳1(1中机中联工程有限公司，重庆400039；2重庆大学土木工程学院，重庆400045)摘要：微振动的控制对保证精密工程结构中产品质量具有十分重要的意义，为调查拟建芯片厂房工程结构建设用地的微振动特性，对工程的选址与结构设计提供建设性意见，利用精密微振动测试设备及分析系统对拟建场地的微振动进行检测，从时域上分析了振动的衰减特性与峰值水平，从频域上基于1/3倍频程分析方法对振动的平均水平及最大能量时段对应的振动幅值进行分析评价。测试与分析结果表明：拟建地块多数测点的素地微振动平均水平未达到VC-G，少数测点振动处于VC-G～VC-F之间；最大能量时段对应的振动幅值多数测点未达到VC-D，少数测点振动处于VC-D～VC-C之间；满足整体VC-C、局部VC-D的微振动控制要求；车行激励1～10Hz的频率区段对拟建场地的微振动影响较大，规划设计时应予以重点考虑。测试分析结果对拟建工程及其他精密工程结构的选址和防微振设计具有较强的参考意义。关键词：车行激励；精密工程结构；拟建场地；微振动测试与分析；1/3倍频程中图分类号：TU198+.6；TU274.9文献标识码：A文章编号：1671-9107（2023）03-0049-04收稿日期：2022-08-09作者简介：谭潜（1982—），男，博士，主要从事地震动、工程结构抗震与振动控制的研究工作，邮箱：tanqianzl@sina.cn。0引言芯片精度的进化导致半导体芯片生产进程中对振动的要求越来越高。高精密芯片制造厂房作为此类高科技产品的生产基地，在规划选址、整体设计与施工的进程中，控制环境振动的影响是决定电子芯片的加工精度和产品良率的关键点[1]。精密工业厂房的重要环境振动荷载来源为轨道交通及公路交通等，准确测量和评价各类车行激励下微振动的水平是芯片厂房设计的重要前提，而准确测量与控制厂房的振动正是这个过程中需要面临的难题之一。《电子工业防微振工程技术规范》（GB51076—2015）的发布[2]，对...
