2023年第5期仪表技术与传感器InstrumentTechniqueandSensor2023No．5基金项目:中央引导地方科技发展资金(YDZX20201400001664);山西省重点研发计划项目(202102030201001，202102030201009)收稿日期:2022－11－01NMP/PVP－MWCNTs湿度传感器制备与测试赵珠杰，雷程，梁庭，谢宇(中北大学，省部共建动态测试技术国家重点实验室，山西太原030051)摘要:碳纳米管制备敏感薄膜时往往会因其分散性差，无法保证纳米薄膜的均匀性，从而影响传感器的性能。使用N－甲基吡咯烷酮(NMP)与聚乙烯吡咯烷酮(PVP)作为分散剂对多壁碳纳米管进行表面活性处理，制备以多壁碳纳米管为湿敏材料的电阻型湿度传感器。传感器用微机电系统(MEMS)工艺制备叉指电极作为湿敏电阻，在100℃下将多壁碳纳米水溶液组装在电极上，使用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对湿敏薄膜进行形貌表征。经测试，传感器线性度为0．99806，灵敏度为42．99923Ω/%，相对湿度20%～70%循环测试时响应时间为5s，恢复时间为6s，且传感器具有良好的重复性和稳定性。关键词:多壁碳纳米管(MWCNTs);微电子机械系统(MEMS);纳米复合材料;相对湿度;电阻传感器中图分类号:TP212文献标识码:A文章编号:1002－1841(2023)05－0010－05PreparationandTestingofNMP/PVP－MWCNTsHumiditySensorZHAOZhu-jie，LEICheng，LIANGTing，XIEYu(NorthUniversityofChina，StateKeyLaboratoryofDynamicMeasurementTechnology，Taiyuan030051，China)Abstract:Whencarbonnanotubesareusedtopreparesensitivefilms，theuniformityofthethinfilmscannotbeguaranteedduetothepoordispersion，whichaffectstheperformanceofthesensor．Multi-walledcarbonnanotubes(MWCNTS)weresurfac-tanttreatedwithN-Methylpyrrolidone(NMP)andpolyvinylpyrrolidone(PVP)asdispersantstoprepareresistivehumiditysen-sorsusingMWCNTS．Micro-electromechanicalsystem(MEMS)technologywasusedtofabricatetheinterfingerelectrodeasthewet-sensitiveresistance．Themulti-walledcarbonnano-watersolutionwasassembledontheelectrodeat100℃．Themorphologyofthewet-sensitivefilmwascharacterizedbyatomicforcemicroscope(AFM)andscanningelectronmicroscope(SEM)．Aftertesting，thelinearityofthesensoris0．99806andthesensitivityis42．99923Ω/%ＲH．Whentherelativehumidityis20%～70%，theresponsetimeis5sandtherecoverytimeis6s，andthe...
