PROGRESSINCHEMISTRY化学进展DOI:10.7536/PC221014http://www.progchem.ac.cnProgressinChemistry,2023,35(5):709~720鲍艳陕西科技大学轻工科学与工程学院教授、博士研究生导师,享受国务院政府特殊津贴专家。从事功能性皮革化学品及有机无机纳米复合材料的研究。作为项目负责人承担科研项目19项。授权国家发明专利56项;以第一或通讯作者发表学术论文126篇,其中被SCI收录51篇,入选ESI高被引论文2篇,论文共计被引2483次。研究成果获国家技术发明二等奖、国家科学技术进步二等奖、全国工人先锋号等25项奖励。入选国家级百千万人才工程、教育部新世纪优秀人才支持计划、陕西省"高层次人才特殊支持计划"青年拔尖人才等人才项目。收稿:2022年10月25日,收修改稿:2023年2月24日,网络出版:2023年4月30日国家自然科学基金项目(No.22078188)和咸阳市秦创原科技创新专项(No.2021ZDZX-GY-0007)资助TheworkwassupportedbytheNationalNaturalScienceFoundationofChina(No.22078188)andtheXianyangCityQinChuangyuanScienceandTechnologyInnovationSpecialProject(No.2021ZDZX-GY-0007).*Correspondingauthore-mail:baoyan@sust.edu.cn基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器鲍艳1,2*许佳琛1郭茹月1马建中1(1.陕西科技大学轻工科学与工程学院(柔性电子学院)西安710021;2.陕西科技大学轻化工程国家级试验教学示范中心西安710021)摘要近年来,随着互联网和人工智能的发展和普及,轻薄便捷、电子性能优异的柔性压力传感器作为可穿戴电子设备的核心器件,拥有了越来越广阔的市场。柔性压力传感器具有灵活柔韧、可折叠、传感性能优异等优点,因而在电子皮肤、运动检测、医疗监测和人机界面等方面已引起广泛的关注。构筑微纳结构是提高压力传感器灵敏度和传感性能的关键。基于此,本文首先总结了高灵敏度压力传感器的传感机制(压阻式、电容式、压电式和摩擦电式)和关键性能参数(灵敏度、压力检测范围、检测限、响应/恢复时间、循环稳定性和线性度等),然后归纳了利用基材构建表面微纳结构(微凸结构、荆棘结构和褶皱结构)和利用导电材料构建微纳结构(微球结构、海胆状结构、蜂窝状结构)的柔性压力传感器的研究进展及其优缺点,总结了基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器在脉搏监测、电子皮肤、运动检测和人机界面等方面的应用现状。最后,从今后应用的角度出发,概述了高灵敏度柔性压力传感器即将面临的挑战及未来发展方向。关键词柔性压力传...