酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定 多晶硅表面金属杂质 GBT 24582-2009.pdf
蜗牛文库
-高品质阅读，高比例分成-
温馨提示：
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
1. 部分包含数学公式或PPT动画的文件，查看预览时可能会显示错乱或异常，文件下载后无此问题，请放心下载。
2. 本文档由用户上传，版权归属用户，汇文网负责整理代发布。如果您对本文档版权有争议请及时联系客服。
3. 下载前请仔细阅读文档内容，确认文档内容符合您的需求后进行下载，若出现内容与标题不符可向本站投诉处理。
4. 下载文档时可能由于网络波动等原因无法下载或下载错误，付费完成后未能成功下载的用户请联系客服处理。
网站客服：3074922707
酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定
多晶硅表面金属杂质
GBT
24582-2009
酸浸取
电感
耦合
等离子
质谱仪
测定
多晶
表面
金属
杂质
24582
2009
ICS29.045H80中华人民共和国国家标准GB/T24582-2009酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline siliconby acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry2009-10-30发布2010-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
