微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 GBT 34898-2017.pdf
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微机电系统MEMS技术
MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
GBT
34898-2017
微机
系统
MEMS
技术
谐振
敏感
元件
非线性
振动
测试
方法
34898
2017
GB/T34898-2017前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准起草单位：北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。本标准主要起草人：李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵。
