微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则 GBT 26113-2010.pdf

GB/T26113-2010微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则1范围本标准规定了微儿何量的评定基本原则、评定要素、评定程序，评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3505产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数GB/T18779.2产品几何量技术规范(GPS)工件与测量设备的测量检验第2部分：测量设备校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语3术语和定义GB/T3505和GB/T26111中给出的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件。3.1微几何要素micro-geometrical feature构成微结构几何特征最基本的点、线、面。3.2微几何量micro-geometrical parameterMEMS构件的几何特征参数。3.3尺寸特征feature of size由一定大小的线性尺寸或角度尺寸确定几何形状。3.4表面结构surface structure几何表面的重复性或偶然性偏差，这些偏差形成该表面的三维形貌。3.5表面（结构）参数surface(structure)parameter表示表面微观几何特性的参数。3.6形状特征characteristic of form单一实际要素的形状所允许的变动全量。1